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一、是河南興邦環(huán)保科技有限公司，聯合多家大學及科研單位共同設計研發(fā)而成的一種專業(yè)處理硅烷廢氣的處理設備，效率高，處理*，安全可靠，處理結果全部達到國家環(huán)保排放要求
一、是河南興邦環(huán)?？萍加邢薰?，聯合多家大學及科研單位共同設計研發(fā)而成的一種專業(yè)處理硅烷廢氣的處理設備，效率高，處理*，安全可靠，處理結果全部達到國家環(huán)保排放要求。
二、目前，多晶硅生產過程中廢氣的主要處理方法有堿淋洗法和焚燒法，其中堿洗法根據使用的材料分為氫氧化鈉處理法和氫氧化鈣處理法。
下面將對進行簡要描述：
1、堿洗法
堿洗法與水洗法相似，常用的堿液主要包括氫氧化鈉和氫氧化鈣溶液，堿液與廢氣中的氯硅烷和同樣在幾級串聯的淋洗塔內或是密閉的反應釜內進行水解中和反應，產生硅酸鈉、氯化鈉、或是硅酸鈣、氯化鈣、少量二氧化硅和水，處理后的廢氣主要為氮氣、氫氣和水蒸氣達標排放。
堿液淋洗后產生的廢堿水經中和壓濾后固渣外運填埋。
2、燃燒法
燃燒法的主要原理是在有氧和助燃材料的條件下，廢氣在燃燒爐內進行高溫燃燒水解，從而將廢氣轉化為含有二氧化硅、、少量氯氣和水蒸氣的高溫煙氣，通過對高溫煙氣的換熱、攔截和降溫吸收，以蒸汽的方式回收煙氣中的熱量，同時以副產物的形式回收煙氣中的二氧化硅和鹽酸，剩余煙氣經淋洗后達標排放。
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