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ISO14644內(nèi)容中規(guī)定了新的潔凈等級，根據(jù)每立方米含有大于或等于0.1μm粒徑的微粒數(shù)量定義潔凈級別。新的標(biāo)準(zhǔn)與行業(yè)中一直沿用美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E系列有很多相似之處，但某些細(xì)節(jié)還是有顯著區(qū)分的。ISO明顯的改變是采用新的潔凈度等級名稱劃分，以ISON級（1≥N≥9）代替了熟知的1級、10級、100級。209E標(biāo)準(zhǔn)中，潔凈等級名稱體現(xiàn)的是具有一定粒徑的微粒的大可允許數(shù)量（表示為每立方英尺空氣微粒濃度），其基準(zhǔn)粒徑為0.5μm。而ISO等級規(guī)定的是關(guān)注粒徑粒子的大允許濃度（表示為每立方米空氣的粒子數(shù)），蘇州電子廠房潔凈度測試其基準(zhǔn)粒子≥0.1μm。兩者單位不同，經(jīng)過計算可得1個每立方英尺的粒子濃度近似等于35個每立方米的粒子濃度，209E標(biāo)準(zhǔn)指出35個0.5μm微粒每立方米相當(dāng)于1240個0.1μm微粒每立方米。從而近似得到兩個等級之間的轉(zhuǎn)換關(guān)系，ISO等級N=（209E英制單位）10N-3級，如：ISO4級=104-3=1級。必須注意的是，只有在關(guān)注粒子為0.5μm時，兩個標(biāo)準(zhǔn)對應(yīng)才*一致。雖然有些人認(rèn)為，其他關(guān)注粒子濃度在兩個標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)化時差異不大，也沒有明文廢除209E對等級的規(guī)定，但從我國現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)來看，已把ISO對潔凈度等級劃分的規(guī)定作為標(biāo)準(zhǔn)。蘇州電子廠房潔凈度測試