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匯眾達電子工廠中潔凈室的幾種型式HZD

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產(chǎn)品型號HZD

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更新時間：2022-05-08 09:40:48瀏覽次數(shù)：112次

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青島匯眾達凈化設備有限公司

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產(chǎn)品簡介

近年來，電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈室有多種形式，根據(jù)在電子工廠中已實際應用的各種類型的潔凈室形式進行簡單描述

詳細介紹

近年來，電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈室有多種形式，根據(jù)在電子工廠中已實際應用的各種類型的潔凈室形式進行簡單描述。

1根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，空氣潔凈度等級和平面或空間布置要求，微電子廠房潔凈室布置形式一般有隧道式或港灣式、開放式、島形布置。如集成電路芯片制造用潔凈室一般采用隧道式和開放式，其中隧道式潔凈室主要用于5〞6〞芯片制造廠，生產(chǎn)工藝設備跨潔凈生產(chǎn)區(qū)和設備維護區(qū)，潔凈生產(chǎn)區(qū)對潔凈度要求嚴格，而維護區(qū)的空氣潔凈度等級較低。目前8〞12〞芯片制造工廠普遍采用開放式潔凈室加微環(huán)境的方式，將芯片制造過程對空氣潔凈室的潔凈度等級只需要5-6級，這種潔凈室形式即可做到工藝布置的靈活性，又可做到減少建設投資和降低能量消耗、降低運行費用等。
2按氣流流型劃分潔凈室時，可劃分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。1）單層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設有上下技術(shù)夾層，上技術(shù)夾層內(nèi)設置空氣過濾裝置、風管和公用動力管線；下技術(shù)夾層為回風道。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2）多層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設有送風靜壓箱貨循環(huán)空氣處理設備或空氣過濾單元機組等的上技術(shù)層；在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動地板以下設有回風靜壓箱或輔助生產(chǎn)設備或公用動力設備、管線等的下技術(shù)層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層根據(jù)需要可以一層或二層。
電子工廠中潔凈室的幾種型式，非單向流潔凈室是采用非單向流氣流流型的潔凈室，主要用于空氣潔凈度等級為6-9級的潔凈室，此類潔凈室當單側(cè)回風室其寬度一般不大于6m?；旌狭鳚崈羰沂窃谕粷崈羰覂?nèi)，同時存在單向流和非單向流兩種氣流流型的潔凈室。

關(guān)鍵詞：芯片

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