陳霞
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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地東莞市
更新時(shí)間:2024-03-24 12:40:07瀏覽次數(shù):1049次
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lintec高性能質(zhì)量流量計(jì)LM-3000L 便攜式超聲波流量計(jì)
lintec快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器MC-7000 便攜式超聲波流量計(jì)
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lintec高溫質(zhì)量流量控制器MC-3000L-TC 便攜式超聲波流量
lintec高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器MC-3000L
高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器,具有 ±1% SP 保證。
LINTEC的環(huán)境溫度補(bǔ)償傳感器即使在低溫下也能實(shí)現(xiàn)高精度的流量測(cè)量。 它可抑制由于傳感器受熱而導(dǎo)致的老化劣化,甚至可以控制流量,即使是臭氧等高度可降解的氣體。
作為選項(xiàng),高性能、數(shù)字質(zhì)量流量控制器可以處理液化氣、微流量 F.S.、寬范圍、表面間距和接頭名稱。
準(zhǔn)確度±1%SP
工作溫度 5~50°C
金屬密封件
清潔(保證顆粒)
環(huán)境溫度補(bǔ)償傳感器
RS-485 通信
微流 F.S.
兼容液化氣
寬
由于CVD(化學(xué)氣相沉積)ALD沉積設(shè)備和蝕刻設(shè)備中使用高活性氣體,因此具有高耐腐蝕性金屬密封的氣體質(zhì)量流量控制器至關(guān)重要。
此外,前驅(qū)體在常溫常壓下含有大量液化氣體,因此具有耐熱性且不易液化的閥門結(jié)構(gòu)很重要。 MC-3000L高精度質(zhì)量流量控制器可從液化氣選項(xiàng)中選擇,最高工作溫度為50°C(可選55°C)。
分析儀可能需要控制分鐘流速,但一般質(zhì)量流量控制器的最小F.S.為5 SCCM,無法控制分鐘流速。 MC-3000L高精度質(zhì)量流量控制器可選配F.S.1SCCM或更低尺寸。 詳情請(qǐng)聯(lián)絡(luò)我們。
此外,高精度質(zhì)量流量控制器MC-3000L還標(biāo)配低死體積隔膜閥。
lintec高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器MC-3000L
溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 低標(biāo)準(zhǔn) | 最高 F.S. | 密封 |
5~50°C | 50kPa | 300kPa | ±1%自保 | 2~100%F.S. | 5SCCM | 400SLM | 金 |
* 規(guī)格表為具有一般規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。 可以通過選項(xiàng)進(jìn)行更改。
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