非真空環(huán)境下的低溫測(cè)試，可達(dá)-100℃ ；大手柄驅(qū)動(dòng)，操作舒適，無(wú)回程差設(shè)計(jì)；兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng) ；0.2微米以上芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測(cè)試；.高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用；VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光譜測(cè)試；可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試；VCSEL/LD/LED/PD的IV/CV特性測(cè)試精密絲桿傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng) ；器件的高頻特性測(cè)試

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特性

1. 非真空環(huán)境下的低溫測(cè)試，可達(dá)-100℃

2. 大手柄驅(qū)動(dòng)，操作舒適，無(wú)回程差設(shè)計(jì)

3. 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)

4. 0.2微米以上芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測(cè)試

5. 高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用

6. VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光譜測(cè)試

7. 大可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試

8. VCSEL/LD/LED/PD的IV/CV特性測(cè)試

9. 精密絲桿傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)

10. 器件的高頻特性測(cè)試（可至300GHz頻率）

主要技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)		LS-WPS150-TEC	LS-WPS200-TEC		LS-WPS300-TEC
外形		860mm長(zhǎng)* 850mm寬* 700mm高	880mm長(zhǎng)* 860mm寬* 750mm高		1400mm長(zhǎng)* 920mm寬* 920mm高
重量		約150公斤	約170公斤		約250公斤
電力需求		220VC, 50~60Hz
樣品臺(tái)	尺寸	6英寸，可360度旋轉(zhuǎn)	8英寸，可360度旋轉(zhuǎn)		12英寸，可360度旋轉(zhuǎn)
	行程	X-Y行程6*6英寸	X-Y行程8*8英寸		X-Y行程12*12英寸
	移動(dòng)精度	1um
	切換樣品功能	樣品臺(tái)快速拉出
	樣品固定方式	真空吸附
	電學(xué)運(yùn)用	電學(xué)獨(dú)立懸空，可作為背電極使用
針座平臺(tái)	規(guī)格	O型平臺(tái)，多可以放置8個(gè)針座	O型平臺(tái)，多可以放置10個(gè)針座		O型平臺(tái)，多可以放置12個(gè)針座
	行程&調(diào)節(jié)方式	平臺(tái)可以快速升降，行程6mm，并帶自動(dòng)鎖定功能；可以上下微調(diào)，行程25mm，升降精度1um
溫控特性	溫度范圍	-100~200℃		-80~200℃		-60~200℃
	溫控精度	溫度分辨率：0.01℃
	加熱電源	LVDC低壓直流
	低控溫速率	±0.1℃/小時(shí)
	制冷方式	液氮制冷
光學(xué)特性	顯微鏡行程	X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm
	切換鏡頭方式	顯微鏡氣動(dòng)升降
	放大倍數(shù)	16~100X/20~4000X
	鏡頭規(guī)格	目鏡：10X; 物鏡：5X, 10X, 20X, 50X, 100X （選配）
	CCD像素	50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）
點(diǎn)針規(guī)格	X-Y-Z行程	12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
	機(jī)械精度	10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
	漏電精度	10pA/100fA（配置屏蔽箱時(shí)）
	接口形式	香蕉頭/鱷魚(yú)夾/同軸/叁軸/SMA/K接口
應(yīng)用方向		高低溫環(huán)境下，LD/LED/PD測(cè)試，PCB/封裝器測(cè)試，射頻測(cè)試等