可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測試（4.2K-450K）；防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品溫度均勻性和穩(wěn)定性更好；兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)；探針熱沉設(shè)計(jì)；可升級(jí)自動(dòng)流量控制；可升級(jí)加載磁場支持光譜波長/光功率特性測試；器件的高頻特性（支持67GHz頻率）；VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光譜波長測試；VCSEL/LD/LED/PD的LIV/CV特性測試。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特性

1. 可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測試（4.2K-450K）

2. 防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品溫度均勻性和穩(wěn)定性更好

3. 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)

4. 探針熱沉設(shè)計(jì)

5. 可升級(jí)自動(dòng)流量控制

6. 可升級(jí)加載磁場

7. 支持光譜波長/光功率特性測試

8. 器件的高頻特性（支持67GHz頻率）

9. VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光譜波長測試

VCSEL/LD/LED/PD的的LIV/CV特性測試

主要技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)		LSO-WPS50-TEC	LSO-WPS100-TEC	LSO-WPS50C-TEC
外形		900mm長* 900mm寬* 530mm高	1100mm長* 1100mm寬* 530mm高	1100mm長* 1100mm寬* 1030mm高
重量		約170公斤	約190公斤	約290公斤
電力需求		AC220V, 50~60Hz
樣品臺(tái)	尺寸	2英寸	4英寸	2英寸
	樣品固定方式	真空導(dǎo)熱硅脂/彈簧壓片
	樣品臺(tái)移動(dòng)	固定的樣品臺(tái)
	真空度	10^-10torr真空
光學(xué)特性	顯微鏡行程	2*2英寸	4*4英寸	2*2英寸
	放大倍數(shù)	變焦：7:1分辨率4μm（放大倍數(shù)216X）或者選用金像顯微鏡（20X-1000X）
	真空腔觀察窗尺寸	2inch	4inch	2inch
	CCD像素	50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）
溫度控制	制冷方式	液氮/液氦		制冷壓縮機(jī)
	控制方式	開循環(huán)手動(dòng)/自動(dòng)冷媒流量控制		閉循環(huán)自動(dòng)控制
	控溫范圍	77~450K/4.2K~450K		4.2K~450K
	控溫分辨率	0.001k
	溫度穩(wěn)定性	4.2K ±0.2K 77K ±0.1K
		373K ±0.08K 473K ±0.1K
		823K ±0.2K（可選） 973K ±1.0K（可選）
	常溫到8K冷卻時(shí)間	90min		150min
	8K到常溫升溫時(shí)間	90min		90min
	常溫開始的升溫時(shí)間	100℃ 150℃ 200 ℃
		30min 50min 80min
	加熱電源	LVDC低壓直流
	傳感器	硅二極管
	傳感器數(shù)量	樣品臺(tái)，防輻射屏，探針臂各一個(gè)
	功率	50W/100W/500W/1000W
點(diǎn)針規(guī)格	探針數(shù)量	2個(gè)/4個(gè)/6個(gè)
	探針調(diào)節(jié)	真空波紋管外部調(diào)節(jié)，手動(dòng)控制
	點(diǎn)針精度	10微米/2微米/0.7微米
	點(diǎn)針行程	25mm-25mm-25mm
	漏電精度	10pA/100fA
	接口形式	三軸/SMA/K/光纖接口
應(yīng)用方向		高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運(yùn)特性等