TRACER 2 型超高精度氣體水份測(cè)量?jī)x
產(chǎn)品簡(jiǎn)介TRACER采用的P2O5水份分析技術(shù),響應(yīng)速度愉,為超高純的氣體的水份檢測(cè)提供高精度低成本的解決方案。
TRACER 的CELL(傳感器)是由嵌入一根中空玻璃管的兩級(jí)電極組成,該兩級(jí)電極上涂布P2O5薄膜。當(dāng)樣品氣體以恒定的流速通過CELL時(shí),CELL上的P2O5薄膜會(huì)吸收氣體中水分,在兩組電極通電后,被吸收水分子會(huì)被電解,從而產(chǎn)生電流。根據(jù)法拉第原理,由電流換算出CELL所吸收的水分,即可精確地測(cè)量出所采樣氣體中的水分含量.
在進(jìn)行氣體采樣時(shí),TRACER的旁路系統(tǒng)(美國(guó)號(hào)5199295)可自動(dòng)調(diào)節(jié)CELL中的水分濃度,使CELL中的水分濃度保持恒定,由此在測(cè)量過于干燥的氣體時(shí),CELL也不會(huì)因過于干燥而發(fā)生裂變。
產(chǎn)品特點(diǎn)
氣路設(shè)計(jì)的優(yōu)勢(shì)
TRACER擁有極快的響應(yīng)速度
延長(zhǎng)了CELL的使用壽命
TRACER 的應(yīng)用
半導(dǎo)體制造
惰性氣體及特殊氣體檢測(cè)
研發(fā)實(shí)驗(yàn)室
部件及系統(tǒng)測(cè)試
儀器特性
模塊化配置
低成本使用
操作簡(jiǎn)便
在線服務(wù)
便攜式
參數(shù)規(guī)格
檢測(cè)范圍
惰性氣體 :0-2000ppbv
氧氣:0-1200ppbv
氫氣:0-500ppbv
準(zhǔn)確性:
惰性氣體模式:計(jì)數(shù)的4%或4ppb,取大值
氫氣或氧氣模式:當(dāng)讀數(shù)小于50ppb時(shí),精確性是讀數(shù)的6%或6ppb,取大值:當(dāng)讀數(shù)大于50ppb時(shí),精確度是讀數(shù)的2%或2ppb,取大值
測(cè)量極限:1ppbV
傳感器:MEECO公司的counterflow cell(美國(guó)號(hào):5225065,5198094)
采樣氣體種類:空氣、氮?dú)?、二氧化碳、氫氣、氧氣、氦氣、氖氣、氬氣、氪氣、四氟化?、甲烷*、非毒性和腐蝕性氣體(帶*氣體在使用時(shí)須謹(jǐn)慎,使用前請(qǐng)咨詢MEECO公司)
采樣氣體進(jìn)口壓力:30-150PSIG(2-10.2BAR)
流量控制:內(nèi)含質(zhì)量控制器,推薦氣體流量在1200SCCM以上
信號(hào)輸出:0-5V模擬輸出,RS-232或RS485通訊端口
操作界面:5鍵操作
氣體接口:1/4”VCR
使用環(huán)境:10-40℃,20%-80%的相對(duì)濕度,無(wú)凝結(jié)、無(wú)毒性的大氣
儀器尺寸:19長(zhǎng)*17寬*7高 英寸