德國Freiberg Instruments 電阻率測試儀（RESmap ）在對低電阻率晶錠和晶圓進(jìn)行非接觸式測量方式上擁有非常重要的重復(fù)性 Si | Ge | 化合物半導(dǎo)體 | 寬帶隙 | 材料 | 金屬 | 導(dǎo)電 | 氧化物和氮化物[ Ge | Si | SiC | InP | GaAs | GaN | InAs以及更多]

詳細(xì)介紹

在對低電阻率晶錠和晶圓進(jìn)行非接觸式測量方式上擁有非常重要的重復(fù)性Si | Ge | 化合物半導(dǎo)體 | 寬帶隙 | 材料 | 金屬 | 導(dǎo)電 | 氧化物和氮化物[ Ge | Si | SiC | InP | GaAs | GaN | InAs以及更多]

特征：

電阻率的非接觸式測量和成像	高頻渦流傳感原理與集成紅外溫度傳感器可校正樣品的溫度變化
信號靈敏度	基于線圈頻率讀數(shù)（正在申請）的高信號靈敏度，可實現(xiàn)準(zhǔn)確可靠的電阻率測量，并具有高再現(xiàn)性和可重復(fù)性
測量時間	測量時間 < 3 s，測量之間時間 < 1 s
測量速度	200 mm 晶圓/晶錠 < 30 s，9個點
多點測量及測繪顯示	不超過9999個點
材料外形尺寸	平坦或略微彎曲的晶圓、晶錠、錠板、毛坯和薄膜
X-Y位置分辨率	≥ 0.1mm
邊緣扣除	5 mm
可靠性	模塊化、緊湊的臺式儀器設(shè)計，可靠性高，正常運行時間 > 99%
電阻率測量的重復(fù)性	≤ 0.15%，基于使用ANOVA Gage R&R方法對材料系統(tǒng)分析（MSA）

更多技術(shù)規(guī)格和配置選項:

為自動化流程做準(zhǔn)備	可用于不同的平臺
測量方法符合	SEMI MF673標(biāo)準(zhǔn)
數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)有效性檢查	使用NIST標(biāo)準(zhǔn)
校準(zhǔn)精度	±1%
集成紅外溫度傳感器（±0.1°）	允許報告標(biāo)準(zhǔn)溫度下的電阻率，（與樣品的實際溫度不同）
樣品厚度校準(zhǔn)	對于高頻信號穿透深度大于穿透深度的樣品
電力要求	100-250 VAC, 5 A
尺寸	465 ′ 550 ′ 600 mm
軟件控制	配備Window10或新版本的標(biāo)準(zhǔn)PC，2個以太網(wǎng)端口