以色列K&S公司主動(dòng)/

精密儀器設(shè)備、顯微鏡高性能隔振

ArisTT系列-桌面式臺(tái)

ArisMD系列-模塊式主動(dòng)

昊量光電新推出AFM、STM、臺(tái)式掃描電鏡、數(shù)字顯微鏡，SEM/TEM等的主動(dòng)隔振解決方案，采樣zuanli利解耦的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，有效隔離了來(lái)自地板的振動(dòng)和由工具產(chǎn)生的振動(dòng)，實(shí)現(xiàn)六自由度主動(dòng)隔振，體積小質(zhì)量輕負(fù)載能力強(qiáng)，易于集成到各類工作環(huán)境中，有效改善顯微鏡性能和圖像質(zhì)量。

產(chǎn)品實(shí)圖：

透過(guò)率曲線：

主要特點(diǎn)：

六自由度

隔振頻率0.5Hz-100Hz

可變阻尼

內(nèi)置人工智能特性

可通過(guò)軟件激活帶寬

遠(yuǎn)程控制

內(nèi)置實(shí)時(shí)頻譜診斷和分析工具

允許測(cè)試目標(biāo)系統(tǒng)或設(shè)備在不同振動(dòng)條件下的性能

調(diào)整不同的頻率和振幅

再現(xiàn)真實(shí)環(huán)境條件，驗(yàn)證目標(biāo)系統(tǒng)內(nèi)部組件對(duì)振動(dòng)的響應(yīng)

內(nèi)置的能力收集和分析數(shù)據(jù)

ARISTT（桌面式主動(dòng)隔振臺(tái)）系列規(guī)格：（原子力顯微鏡，生物顯微鏡，半導(dǎo)體等）

實(shí)時(shí)分析工具：內(nèi)置實(shí)時(shí)2通道，實(shí)時(shí)2通道頻譜分析儀

實(shí)時(shí)性能調(diào)整：所有6個(gè)自由度的實(shí)時(shí)/遠(yuǎn)程訪問(wèn)控制

工作電壓：AC 80-260V/50-60Hz

架構(gòu)：MVIS多層隔振結(jié)構(gòu)

ARISDD系列規(guī)格：（SEM，TEM，F(xiàn)IB，半導(dǎo)體等）

實(shí)時(shí)分析工具：內(nèi)置實(shí)時(shí)2通道，實(shí)時(shí)2通道頻譜分析儀

ARISTT系列應(yīng)用案例：

ARISMD系列應(yīng)用案例：