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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品介紹視頻
產(chǎn)品簡介
明立精機(jī)的MAPS 系列產(chǎn)品的除振系統(tǒng)是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅(qū)動器而構(gòu)成的組裝型除振裝置。使用1 組4 個的話，對應(yīng)全自由度的振動，能發(fā)揮出除振性能、制振性能、定位性能等。
產(chǎn)品特點(diǎn)
MAPS 可以消除被動除振的困難頻段的振動
標(biāo)準(zhǔn)的MAPS 可除振10 噸以上的設(shè)備
搭載工件等移動裝置也不會搖擺
MAPS 具有精確定位及精密校平性能
MAPS 是小型易操作的組合型系列
MAPS 是構(gòu)成精密設(shè)備的一個重要部分
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造，等
主要規(guī)格和參數(shù)表
附注
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