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皮米精度激光干涉儀

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產(chǎn)品型號IDS3010

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更新時間：2023-12-13 14:27:08瀏覽次數(shù)：191次

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產(chǎn)品簡介

德國attocube公司在皮米精度位移激光干涉儀FPS的基礎(chǔ)上，推出了體積更小、適合集成到工業(yè)產(chǎn)品與同步輻射應(yīng)用中的皮米精度激光干涉儀IDS3010。與FPS型號干涉儀相似，IDS型號同樣適用于環(huán)境如高真空與高輻射環(huán)境并且具有*精度與*采樣速率。IDS產(chǎn)品是適合工業(yè)集成與工業(yè)網(wǎng)絡(luò)無縫連接的理想產(chǎn)品。

詳細介紹

皮米精度激光干涉儀IDS 3010(NEW)

德國attocube公司在皮米精度位移激光干涉儀FPS的基礎(chǔ)上，于近推出了體積更小、適合集成到工業(yè)產(chǎn)品與同步輻射應(yīng)用中的IDS型號皮米精度位移激光干涉儀。與FPS型號干涉儀相似，IDS型號同樣適用于環(huán)境如高真空與高輻射環(huán)境并且具有*精度與*采樣速率。IDS產(chǎn)品是適合工業(yè)集成與工業(yè)網(wǎng)絡(luò)無縫連接的理想產(chǎn)品。產(chǎn)品在工業(yè)應(yīng)用中具有廣泛范圍前景，包括閉環(huán)位移反饋系統(tǒng)搭建、振動測量、軸承誤差測量等。

+ 設(shè)計緊湊（50mm x 55mm x 195mm），適合工業(yè)集成

+ 工業(yè)化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面

+ 測量速度快，定位樣品采樣帶寬10MHz

+ 環(huán)境補償單元，不同濕度、壓力環(huán)境中校正反射率參數(shù)提高測量精度

+ 校正簡單，配備可見激光（650nm）用于校正測量激光（1530nm）

+ 測量精度高，探測器分辨率高達1 pm

IDS 3010激光探頭技術(shù)參數(shù)表

IDS系列激光干涉儀可提供不同型號探頭（探頭尺寸，光斑大小不同）。

探頭直徑范圍：1.2mm – 22mm。典型準直激光光斑：1.6mm，典型聚焦激光光斑：70 mm。

低工作溫度：10mK, 1E-10mBar超高真空適用, 10MGy強輻射環(huán)境適用。

激光探頭

型號

尺寸mm

(直徑與長)

工作距離

(低反射，

高反射材料）

激光類型

（聚焦、準直）

光斑

大小

D1.2/F7

φ 1.2;

7.5

5-9 mm，

30-45 mm

聚焦，

焦距7mm

70mm@7mm

D4/F8

φ 4;

11.5

6-10 mm，

15-30 mm

聚焦，

焦距8mm

70mm@8mm

D4/F13

φ 4;

11.5

11-15 mm，

30-45 mm

聚焦，

焦距13mm

70mm@13mm

D12/F2.8

φ 12;

32.3

2.8 mm

聚焦，

焦距2.8mm

2mm@ 2.8mm

M12/C1.6

φ 14;

17.4

0-1000 mm

準直

1.6mm

M15.5/C1.6

φ 22;

20.6

0-1000 mm

準直

1.6mm

M12/C7.6

φ 14;

49.3

0-5000 mm

準直

7.6mm

IDS 3010主機尺寸與接口

實驗數(shù)據(jù)，皮米精度的穩(wěn)定性

測量速度快，定位樣品采樣帶寬10MHz

上圖，77mm長的腔在20個小時內(nèi)的實驗測量數(shù)據(jù)表明數(shù)據(jù)誤差范圍在55 pm！

上圖，樣品移動速度2米/秒，移動范圍1m。

皮米精度激光干涉儀IDS 3010應(yīng)用案例

1. 激光干涉儀檢測納米精度位移臺

2. 激光干涉儀組建高精度X射線顯微鏡

3. 激光干涉儀無損探測軸承誤差

4. 激光干涉儀校正極低溫非線性掃描

國內(nèi)外用戶名單(排名不分先后)

attocube公司產(chǎn)品以其穩(wěn)定的性能、*的精度和良好的用戶體驗得到了國內(nèi)外眾多科學家的認可和肯定，在范圍內(nèi)有超過了4000多位用戶。attocube公司的產(chǎn)品在國內(nèi)也得到了低溫、超導、真空等研究領(lǐng)域*科學家和研究組的歡迎......

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