在濕法脫硫系統(tǒng)中，臭氧發(fā)生器脫硫脫硝處理設(shè)備適用于以脫硫塔為吸收塔，脫硫液為吸收液；而臭氧氧化氨氣中的NOX則通過(guò)吸收液吸收產(chǎn)生硝酸鹽外排。干或半干脫硫系統(tǒng)，則需增加吸收塔，用于吸收NO2、NO3、N2O5等經(jīng)臭氧氧化后產(chǎn)生的氣體，產(chǎn)生硝酸鹽，可在以后投入和操作方面比濕法要昂貴。
當(dāng)脫氮需求較低時(shí)，臭氧脫硝過(guò)程比活性炭和SCR法運(yùn)行成本更低。臭氧脫硝工程具有僅次于氟的強(qiáng)氧化性，完將煙氣等惡劣環(huán)境中的NO氧化為高價(jià)態(tài)，并能提高煙氣中氮氧化物的水溶性，使其經(jīng)濕法洗脫。雖然臭氧同時(shí)脫硫和脫硝技術(shù)具有明顯的一體化脫硝特點(diǎn)，但臭氧脫硝成本高，使其應(yīng)用受到限制。

煤是主要能源。燃燒過(guò)程排放的二氧化硫、NOx等污染物總量較大，對(duì)大氣環(huán)境造成污染，同時(shí)對(duì)人體健康也有一定的危害。在二氧化硫的控制方面，目前比較成熟的技術(shù)是石灰石法，即石膏法。該方法脫除率可達(dá)95%，除此技術(shù)外，還可用于爐內(nèi)噴鈣脫硫、電子束脫硫等。
臭氧發(fā)生器脫硫脫硝處理設(shè)備原理是臭氧能將難溶于水中的一氧化氮氧化為某些高價(jià)態(tài)的氮氧化物，而它又溶于水。

由于對(duì)環(huán)境保護(hù)的要求越來(lái)越高，傳統(tǒng)的煙氣脫硫脫硝工藝已不能滿足其嚴(yán)格的要求。而傳統(tǒng)的加工工藝存在著設(shè)備投資大、占地面積大、系統(tǒng)復(fù)雜等諸多問(wèn)題。因此說(shuō)現(xiàn)在研究開發(fā)新工藝簡(jiǎn)單可靠的脫硫脫硝十分重要。