詳細(xì)介紹
什么是電漿?
等離子體(plasma)又叫做電漿,是由部分電子被剝奪后的原子及原子團(tuán)被電離后產(chǎn)生的正負(fù)離子組成的離子化氣體狀物質(zhì),尺度大于德拜長(zhǎng)度的宏觀電中性電離氣體,其運(yùn)動(dòng)主要受電磁力支配,并表現(xiàn)出顯著的集體行為。它廣泛存在于宇宙中,常被視為是除去固、液、氣外,物質(zhì)存在的第四態(tài)。
等離子體是一種很好的導(dǎo)電體,利用經(jīng)過(guò)巧妙設(shè)計(jì)的磁場(chǎng)可以捕捉、移動(dòng)和加速等離子體。等離子體物理的發(fā)展為材料、能源、信息、環(huán)境空間、空間物理、地球物理等科學(xué)的進(jìn)一步發(fā)展提供了新的技術(shù)和工藝。 等離子體是不同于固體、液體和氣體的物質(zhì)第四態(tài)。物質(zhì)由分子構(gòu)成,分子由原子構(gòu)成,原子由帶正電的原子核和圍繞它的、帶負(fù)電的電子構(gòu)成。當(dāng)被加熱到足夠高的溫度或其他原因,外層電子擺脫原子核的束縛成為自由電子,就像下課后的學(xué)生跑到操場(chǎng)上隨意玩耍一樣。電子離開(kāi)原子核,這個(gè)過(guò)程就叫做“電離”。這時(shí),物質(zhì)就變成了由帶正電的原子核和帶負(fù)電的電子組成的、一團(tuán)均勻的“漿糊”,因此人們戲稱(chēng)它為離子漿,這些離子漿中正負(fù)電荷總量相等,因此它是近似電中性的,所以就叫等離子體。
電漿清洗機(jī)原理介紹:
等離子電漿體的產(chǎn)生是利用直流,交流,射頻或微波能源的方式,在適當(dāng)?shù)牡蛪籂?態(tài)(約 100mTorr 至 1Torr)及密閉空間加以電壓(12ev),通入密閉空間之氣體就可以被離子化;再利用離子化之粒子及借由電極板所提供之電場(chǎng),加速粒子間之撞擊作用。而經(jīng)由撞擊產(chǎn)生之二次電子與通入密閉空間之氣態(tài)粒子,尤其是不帶電荷的氣體分子及原子團(tuán)再次發(fā)生撞擊,在撞擊之間便產(chǎn)生了電漿及火光。等離子體形成過(guò)程,在高頻電場(chǎng)中處于低氣壓狀態(tài)的氧氣、氮?dú)?、甲烷、水蒸氣等氣體分子在輝光放電的情況下,可以分解出加速運(yùn)動(dòng)的原子和分子。這樣產(chǎn)生的電子在 電場(chǎng)中加速時(shí)會(huì)獲得高能量,并與周?chē)姆肿踊蛟影l(fā)生碰撞,結(jié)果使分子和原子中又 激發(fā)出電子,而本身又處于激發(fā)狀態(tài)或離子狀態(tài),這時(shí)物質(zhì)存在的狀態(tài)即為等離子體狀 態(tài)。在等離子體中除了氣體分子、離子和電子外,還存在受到能量激勵(lì)狀態(tài)的電中性的 原子或原子團(tuán)(又稱(chēng)自由基),以及等離子體發(fā)射出的光線,其中波的長(zhǎng)短、能量的高低在等離子體與物質(zhì)表面相互作用時(shí)有著重要作用。PLASMA 電漿體對(duì)有機(jī)污染物之清除方法有二:一是化學(xué)反應(yīng):利用氧原子或氫原 子與污染物相結(jié)合方式,來(lái)達(dá)成電漿處理;二是物理反應(yīng):利用正離子撞擊方式如氬氣, 使含 C-H 鍵之污染物脫離而達(dá)成清除之目的。
電漿清洗機(jī)的優(yōu)點(diǎn):
安全性:電漿提供一個(gè)使用一個(gè)電能去促進(jìn)表面清潔,比加熱更低溫的化學(xué)反應(yīng)環(huán)境,排除了濕法化學(xué)額危險(xiǎn)性。
環(huán)保性:電漿反應(yīng)過(guò)程是氣體解離的干式反應(yīng),不消耗水資源,無(wú)需添加化學(xué)藥劑,反應(yīng)不需要回收處理,對(duì)環(huán)境無(wú)污染與環(huán)保問(wèn)題。
溫度低:接近常溫,特別適合高分子材料,比電暈和火焰方法有更長(zhǎng)的保存時(shí)間和較高的表面張力。
廣式性:不分處理物件的基材類(lèi)型,均可進(jìn)行處理。如金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大都數(shù)高分子材料等均可進(jìn)行處理。
功能強(qiáng):僅涉及各種材料的表面進(jìn)行清洗,可以保持材料本身特性的同時(shí),賦予其一種或多種新的功能。(親水性改善)
低成本:裝置簡(jiǎn)單,易操作與維護(hù)保養(yǎng),可長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)行,沒(méi)有高額耗材,也沒(méi)有溶劑成本,清洗成本大大低于濕法清洗。
全程參數(shù)可控:提供簡(jiǎn)單制程,提高工作效率,所有參數(shù)均可進(jìn)行設(shè)置并記錄,控制產(chǎn)品品質(zhì)。
處理形狀無(wú)限制:無(wú)論大或小,復(fù)雜或簡(jiǎn)單,部分,或整體,均可以進(jìn)行電漿表面清洗。