黃生
日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701MkⅡ
特征
直流濺射類系列中最小的超緊湊型號(hào)
一種可以輕松制作電極薄膜的小型濺射裝置
標(biāo)配間歇濺射功能
TS 之間的距離可以通過專用的樣品臺(tái)和載物臺(tái)輕松改變。
應(yīng)用/結(jié)果示例
適用于各種設(shè)備的電極膜附件
用于制造反射薄膜等
日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701MkⅡ
基本規(guī)格
陰極 | φ2英寸/平板型電極 |
濺射靶 | 包括 Au 目標(biāo) |
氣體引入機(jī)制 | 針閥 |
間歇功能 | 標(biāo)配 |
真空泵 | 直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵:20l/min(帶自動(dòng)漏氣) |
腔室尺寸 | 內(nèi)徑φ90mm x D90mm(SUS制) |
樣品交換方式 | 前門開閉式 |
尺寸(寬/深/高) | 本體:160/326 / 286mm 反相:300/160 / 200mm |
重量 | 身體:10kg RP:9kg |