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當(dāng)前位置：亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）>>納米壓印光刻系統(tǒng)>> EVG 520 HE熱壓印系統(tǒng)
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品簡介：
EVG 520 HE是一款基于EVG520設(shè)備的半自動熱壓印設(shè)備，適用于所有聚合物，可應(yīng)用于高質(zhì)量的納米圖形轉(zhuǎn)移。相比EVG 510 HE可提供更大的壓力。
主要特點及參數(shù)：
·支持8英寸（200mm）晶圓
·自動壓印并具有氣動脫模功能
·壓力：100KN
·溫度：350℃（可選配至550℃）
·真空度：0.1mbar（可選配至10-5mbar）
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