ZY-1壓阻規(guī)--熱偶規(guī)復(fù)合真空測量儀在ZO-2 熱偶真空測量儀基礎(chǔ)上增加了一路壓阻規(guī)管，用于測量101kPa～200Pa之間的真空度。本儀器可同時(shí)測量兩路真空度，其中真空室1由熱偶規(guī)管1和壓阻規(guī)管分段復(fù)合測量。
1 . 主要技術(shù)指標(biāo)
1.1  測量范圍： 101kPa～100 Pa ±10% (壓阻規(guī)管)
 200～1 Pa           ± 20%(熱偶規(guī)管)
   1～0.1 Pa         　± 50%(熱偶規(guī)管)
1.2  配用規(guī)管： ZJ—54D 熱偶規(guī)管
 YZG—15A 壓阻規(guī)管
1.3 電源電壓： 交流220V   50Hz
1.4 使用環(huán)境： 5～30℃     濕度 < 80%
1.5 外形尺寸：  321(w)X255(h)X380(D)mm³
    開孔尺寸: 300(w)X220(h)mm2 

2. 工作原理和使用方法
2.1  工作原理：
本儀器熱偶規(guī)管采用定流方式工作。工作電流可以數(shù)字設(shè)定?？梢宰詣?dòng)調(diào)整**滿度和高真空時(shí)的滿度加熱電流。真空度的單位自動(dòng)轉(zhuǎn)換。
為了提高101kPa～200Pa測量精度，同時(shí)避免氣體種類對(duì)測量結(jié)果的影響，本儀器對(duì)真空室1復(fù)合了壓阻規(guī)管，當(dāng)真空室1的真空度處于上述范圍時(shí)，壓阻規(guī)管工作，高于上述范圍時(shí)，熱偶規(guī)管工作。
壓阻真空規(guī)管是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)制成的一種力敏器件。它以單晶硅為基體，按特定晶面，根據(jù)不同的受力形式分別加工成彈性應(yīng)變?cè)趶椥詰?yīng)變?cè)倪m當(dāng)位置，用集成電路工藝技術(shù)擴(kuò)散四個(gè)等值電阻，組成惠斯登電橋。當(dāng)不受壓力作用時(shí)，電橋處于平衡狀態(tài)；當(dāng)受到壓力作用時(shí)，一對(duì)橋臂電阻變大，另一對(duì)變小，電橋失去平衡。若對(duì)電橋加一恒定電流(電壓)，便輸出對(duì)應(yīng)于所加壓力的電壓信號(hào)，從而達(dá)到測量氣體壓力的目的。同時(shí)，由于壓力測量取決于單晶硅基片的形變程度，測量結(jié)果與氣體種類無關(guān)。
由于這種傳感器的感受、**和檢測三部分同由一個(gè)元件實(shí)現(xiàn)，沒有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，所以不重復(fù)性和遲滯等誤差極小。同時(shí)由于硅單晶本身剛度很大，形變很小，保證了良好的線性度，因此綜合精度**。
本儀器提供了壓阻真空規(guī)管工作所**需的恒流源，并接收規(guī)管送出的壓力信號(hào)。所有的調(diào)零、調(diào)滿度等均由軟件完成，并且用軟件對(duì)規(guī)管電流源的微小變化進(jìn)行補(bǔ)償，擴(kuò)大了規(guī)管的測量范圍。使用**方便。