型號:OTF-1200X-III-D5-4
產(chǎn)品概述:OTF-1200X-5-III-D4 是一款三溫區(qū)的雙管爐,其工作溫度可以達(dá)到1200℃,專門針對于用CVD方法在金屬箔上生長薄膜物質(zhì),如石墨烯、太陽能電池的電極材料和電池電極材料等。
名稱 | 1200℃小型三溫區(qū)開啟式管式爐OTF-1200X-III-C |
爐體結(jié)構(gòu) | ·采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)
·高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命)
·可選購石英管堵及石英坩堝,可增加爐管內(nèi)潔凈度及真空度(圖三、四)
·設(shè)有開門斷電功能,提高實(shí)驗(yàn)安全性(圖五、六)
·石英爐管:外管直徑為 130 mm,內(nèi)管直徑為100mm,使用時(shí)把金屬箔附在內(nèi)管壁上用于CVD反應(yīng)
·雙管真空密封法蘭,反應(yīng)氣體通過兩個(gè)管(20mm空隙)流動并進(jìn)行反應(yīng),強(qiáng)制對流空氣可以通過中心管進(jìn)行快速冷卻(點(diǎn)擊下列圖片查看詳情)(圖七) |
基本參數(shù) | 熱偶:K型熱偶 建議升溫速率:≤10℃/min
溫度:1100℃ (1200℃<1h) 電源:AC220,50Hz 功率:7KW |
加熱區(qū) | 加熱區(qū)長度:900mm (三溫區(qū):229mm+457mm+229mm) |
加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長使用壽命) |
法蘭 | ·采用鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm和O形密封圈加上機(jī)械泵可使真空度達(dá)到10-2Torr
·法蘭1包含不銹鋼針形閥(點(diǎn)擊圖一查看訂購轉(zhuǎn)接頭)
·法蘭2包含kf5真空接口,方便連接真空泵
·法蘭采用水冷法蘭。當(dāng)工作溫度超過900°C時(shí),需要使用冷卻水(圖二)
·可選:您可在我公司選購液相氣體發(fā)生器,可配合管式爐及CVD系統(tǒng)使用(圖三) |
爐管尺寸 | ·高純石英管尺寸:
·內(nèi)管尺寸:100 OD x 94 ID x 1800 L (mm)
·外管尺寸:130 OD x 120 ID x 1440 L (mm)
·使用時(shí)需放置管堵,點(diǎn)擊下圖查看詳情 |
可選 | ·可在我公司選購石墨烯生長銅箔(圖一)
·可在我公司選購移動爐架放置設(shè)備(圖二)
·可在我公司選購質(zhì)子流量計(jì)、真空機(jī)組等,支撐設(shè)備的同時(shí)可向設(shè)備內(nèi)通入各種混合氣體(圖三) |
密封法蘭 | ·一對SS304真空法蘭與雙高溫硅O形環(huán)包括在內(nèi)
·兩個(gè)針閥已分別安裝在兩個(gè)法蘭上(圖一)
·一個(gè)真空壓力表安裝在一側(cè)法蘭(圖一)
·可選:您可以選購kf25真空口法蘭(圖二)
·可選:您可以訂購法蘭支架(圖三) |
溫控系統(tǒng) | ·包含一款YD518P型溫度控制器
·PID自動控溫系統(tǒng)
·智能化30段可編程控制
·控溫精度:±1℃
·三個(gè)溫區(qū)分別有三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制
·默認(rèn)DB9 PC通信連接端口
·通過MET認(rèn)證
·可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù) |
外形尺寸 | 2100 L x 450W x 630 H mm |
凈重 | 約90Kg |
質(zhì)保期 | 一年保修,終身技術(shù)支持。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
真空系統(tǒng) | ·通過機(jī)械泵可達(dá)到50mTorr(參考值,詳情請點(diǎn)擊)
·通過分子泵泵可達(dá)到10E-5 Torr(參考值,詳情請點(diǎn)擊) ·可選購一個(gè)冷真空阱,以避免真空泵造成污染 |
質(zhì)量認(rèn)證 | 所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。 |
使用注意事項(xiàng) | ·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會更加精確安全
·當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
·進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
·石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃
·對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |
應(yīng)用提示 | ·如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭
·為了在管式爐內(nèi)獲得準(zhǔn)確的溫度,在使用前需要校準(zhǔn)溫度,請點(diǎn)擊這里了解如何使用 |
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