儀器用途： CW400LMDT-8″大平臺明暗場芯片檢查顯微鏡是適用于半導(dǎo)體晶圓的檢驗、芯片封裝、電路基板、材料等行業(yè)的理想儀器。可進(jìn)行偏光、暗視場及明視場觀察轉(zhuǎn)換。暗視場功能對觀察材料表面缺陷有特殊效果。配置大視野目鏡和長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)，視場大而清晰。專門設(shè)計的大移動范圍載物臺，移動范圍:8"×8"(204mm×204mm)，滿足半導(dǎo)體行業(yè)的需求。粗微動同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，粗動松緊可調(diào)，帶限位鎖緊裝置，微動格值:0.7μm。三目鏡筒，可進(jìn)行99%透光攝影。 主要技術(shù)參數(shù)： 1、目鏡筒：三目鏡，轉(zhuǎn)軸式，傾斜30度、360°旋轉(zhuǎn) 2、目鏡：大視野 WF10X/22mm 3、無窮遠(yuǎn)平場消色差明暗場專用物鏡: PL L 5X/0.12 B.D 工作距離(Work distance)：9.7 mm PL L10X/0.25 B.D 工作距離(Work distance)：9.3 mm PL L20X/0.40 B.D 工作距離(Work distance)：7.2 mm PL L50X/0.70 B.D 工作距離(Work distance)：2.5 mm PL L80X/0.80 B.D 工作距離(Work distance)：1.25 mm 轉(zhuǎn)換器：內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位五孔轉(zhuǎn)換器 4、總放大倍數(shù)：50X-800X 5、聚焦鏡：可調(diào)式阿貝聚焦鏡NA1.25，孔徑光闌，濾色片。 6、大工作臺：三層機(jī)械移動式，尺寸:280mmX270mm,移動范圍（X*Y）:204mmX204mm 7、調(diào) 焦 ：粗微動同軸調(diào)焦,升級范圍25mm，微動格值:0.7μm,帶鎖緊和限位裝置 8、落射照明系統(tǒng)：柯勒照明，落射照明12V50W，鹵素?zé)袅炼瓤烧{(diào)，內(nèi)置式視場光闌、孔徑光闌（黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃）濾色片轉(zhuǎn)換裝置，推拉式檢偏器與起偏器。 9、正交偏光裝置 10、防霉 |
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