真空清洗機(jī)也叫真空脫氣超聲波清洗機(jī)，其具體工藝為：清洗時(shí)首先在常壓下把被清洗的物體投入到清洗液中，待清洗液滲透到工件的細(xì)孔或深孔中，然后進(jìn)行真空脫氣處理，在減壓抽真空過(guò)程中，促使清洗液中溶解的微小氣泡隨著氣壓的降低，在細(xì)孔中膨脹，進(jìn)而把污垢一同帶出，然后在真空狀態(tài)下，啟動(dòng)超聲波發(fā)生裝置，利用超聲波在脫氣后的清洗液中良好的清洗能力剝除污垢。
然后開動(dòng)循環(huán)泵使清洗液在真空狀態(tài)下，發(fā)生循環(huán)流動(dòng)并通過(guò)過(guò)濾器把污垢吸附清除。為提高清洗效果還可以反復(fù)進(jìn)行減壓脫氣和恢復(fù)到常壓狀態(tài)的循環(huán)操作，以提高超聲波的傳送效率和增強(qiáng)對(duì)污垢的剝離效果。
在超聲波清洗的媒介中（水或者溶劑）都會(huì)溶解一定量的空氣，研究發(fā)現(xiàn)這些溶解的氣體在超聲波清洗中起著負(fù)面作用，主要表現(xiàn)有以下三個(gè)方面。
1、不利于空穴作用的發(fā)揮
在超聲波清洗時(shí)實(shí)際會(huì)產(chǎn)生兩種空穴。一種是溶解在清洗液中的氣體氣化形成的的氣泡性空穴；一種是清洗液溶劑蒸發(fā)的蒸汽形成的真性空穴。
由于氣泡性空穴的體積小，其破裂時(shí)產(chǎn)生的沖擊波也比較弱。而蒸汽產(chǎn)生的真性空穴在破裂時(shí)產(chǎn)生的沖擊波要強(qiáng)10倍以上。在清洗介質(zhì)中溶解有很多氣體時(shí)，產(chǎn)生的空穴主要是氣泡空穴。只有在脫氣排除這些氣體后才有利于產(chǎn)生真性空穴。并利用真性空穴強(qiáng)大的沖擊波粉碎和剝離附著在工件上的頑固污垢。
2、不利于超聲波振動(dòng)加速度作用的發(fā)揮
使用高頻超聲波清洗，是清洗超精密工件的重要手段，其原理是利用超聲波使清洗液的振動(dòng)加速度大大提高來(lái)達(dá)到清洗目的的。
當(dāng)巨大的振動(dòng)加速度施加到工件上時(shí)，其表面上的污垢粒子即易于被剝離。由于高頻超聲波對(duì)工件的損傷小，所以常用于半導(dǎo)體和液晶顯示器基板等精密復(fù)雜工件的清洗。但如果清洗液中溶解有很多氣體時(shí)，超聲波在清洗液中的傳播速度就會(huì)發(fā)生衰減，不能發(fā)揮其*的清洗作用。因此在使用高頻超聲波清洗時(shí)也要進(jìn)行真空脫氣處理。
3、溶解氣體會(huì)造成清洗工件的氧化
溶解的氣體中含有相當(dāng)數(shù)量的氧氣，它會(huì)造成在超聲波清洗過(guò)程中金屬工件的氧化或生銹。
通過(guò)真空脫氣處理可以使清洗液中的殘氧量大大降低，不僅可以減少清洗和干燥處理的時(shí)間而且可以有效的解決防銹的問(wèn)題。
采用真空發(fā)生器等真空脫氣裝置可將各類清洗劑中的殘存溶氧量降到2mg/L以下，經(jīng)過(guò)真空脫氣處理后的清洗劑用于超聲波清洗的效率大大提高，特別是對(duì)形狀復(fù)雜、孔隙細(xì)小的精密零件清洗效果尤為明顯。
其中包括兩種作用：
一是利用脫氣過(guò)程中，氣泡在細(xì)孔中膨脹時(shí)脫出把污垢帶出的作用；另一種作用是利用上面介紹的脫氣后的清洗液具有的良好的清洗能力。
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