硅芯作為改良西門(mén)子法工藝生產(chǎn)多晶硅，還原爐內(nèi)多晶硅料沉積的載體，它的表面潔凈程度直接影響到多晶硅成品的品質(zhì)。硅芯清洗目前通過(guò)人工沖洗然后進(jìn)酸洗機(jī)（包括酸腐蝕、純水漂洗、熱風(fēng)干燥等工序）清洗來(lái)達(dá)到清洗目的。由于酸在清洗中的反應(yīng)消耗，為了保證清洗質(zhì)量要求清洗完1200根硅芯后更換新酸。通過(guò)對(duì)沾污的類型以及清洗原理進(jìn)行分析探討，并采取相應(yīng)的工藝改進(jìn)措施；達(dá)到節(jié)約用酸量，減少排放，改善清洗質(zhì)量的目的。

硅芯經(jīng)過(guò)去頭尾、線切割、脫膠、錐磨等工序加工至合格尺寸形狀，加工中形成的沾污大致可分為三類：顆粒沾污，有機(jī)物沾污，金屬元素的沾污，按目前的標(biāo)準(zhǔn)清洗工藝一次難以清洗干凈，需延長(zhǎng)酸腐蝕時(shí)間或重復(fù)酸酸腐蝕以保證清洗質(zhì)量，不僅增加了酸的用量和清洗時(shí)間，且使硅芯的外形尺寸變小造成尺寸不合格。

改進(jìn)后的硅芯清冼工藝采用無(wú)污染的物理方法作為預(yù)清洗，可有效去除硅芯表面附著的顆粒；用酸量為原來(lái)的50%，減少了排放和環(huán)境污染；使用自動(dòng)化設(shè)備降低了工人的勞動(dòng)強(qiáng)度。