K&S ARIS MD500主動減震臺
專為精密儀器設計的主動震動隔離系統(tǒng),設計輕巧而緊湊,易與安裝的流線型設計,更方便定位的獨立支撐模塊,安裝過程無需復雜的調校。有工程師,物理學家及精密儀器領域內的專家顧問共同研發(fā)顯著的降低了環(huán)境震動帶來的干擾,使它成為精密儀器的配置。
大型場發(fā)射掃描電子顯微鏡或透射電子顯微鏡主動減震臺:
TESACAN掃描電子顯微鏡鏡 ZEISS蔡司掃描電子顯微鏡 Thermo Fisher(FEI)掃描電子顯微鏡 HITACHI日立掃描電子顯微鏡 JEOL日本電子掃描電子顯微鏡 Thermo Fisher(FEI)透射電子顯微鏡 HITACHI透射掃描電子顯微鏡 JEOL日本電子透射電子顯微鏡
應用方向:
用于降低或屏蔽地面附件的震動源給儀器的影響,由4-6個獨立主動減震模塊組成,進而屏蔽或減少地面震動對掃描電鏡性能的影響。提供給掃描電子顯微鏡的工作狀態(tài)及分辨率。
應用效果:
技術指標:
通訊控制:支持1-8立模塊,集中通訊控制
隔振性能:8dB gain on 1Hz(60-70%);20dB gain on 2Hz(≥90%)
隔振自由度:6個自由度
響應時間:≤0.01Sec
隔振性能:0.5~100Hz
模塊尺寸:230×270×75mm
4組模塊承載重量:500-2000Kg
8組模塊承載重量:800-4000kg
MD500獨立模塊稱重范圍為100-500Kg