產(chǎn)品詳情:
Microhezao GVC-2000GB全自動(dòng)離子濺射儀手套箱專用鍍膜系統(tǒng),自動(dòng)化程序控制,一鍵式操作,讓鍍膜更加高效。,該設(shè)備采用觸摸控制,外置泵組設(shè)計(jì),采用平面磁控濺射靶設(shè)計(jì),從而使試樣在熱效應(yīng)最小的條件下得到效的濺射效果,常用于鋰電池電極防氧化研究中。也可用于SEM、TEM及薄膜樣品進(jìn)行樣品制備。
’
技術(shù)參數(shù):
輸入電壓: | 220V,AC | 樣品托盤: | 標(biāo)配65mm,可選90mm |
操作方式: | 觸摸屏+微處理器控制 | 設(shè)備尺寸: | 424×271×255mm |
濺射電壓: | 600V | 設(shè)備重量: | 主機(jī)重量11kg |
功率: | 450W | 保護(hù)功能: | 真空,電流雙重保護(hù) |
濺射電流 | 5-45mA,任意調(diào)節(jié) | 可選配件: | 膜厚儀精度0.01 |
可選靶材: | 金、鉑、銀、銅、銻、鈦、鉻、鉛等常用金屬 | 配置泵組: | 外置機(jī)械泵 |
樣品倉(cāng)室: | 128×130mm | 濺射顆粒: | 5-10nm(Au) |