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回轉PECVD BTF-1200C-R-PECVD 實驗室臭氧發(fā)生機

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更新時間:2023-06-05 09:39:21瀏覽次數(shù):205次

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主要特點:本款設備可以做金屬復合石墨烯材料,是目前Z的金屬復合材料制備設備

要特點:

本款設備可以做金屬復合石墨烯材料,是目前Z的金屬復合材料制備設備??梢杂糜趧恿﹄姵兀嵘姵貎茸韬湍芰棵芏?,有效解決新能源汽車電池的問題。

1.該設備爐管可360度旋轉,管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉有助于燒結得更均勻;

2.可左右大角度傾斜,方便出放料,傾斜角度在0~35°之間。

3.該款設備是全自動Plasma增強CVD系統(tǒng)(PECVD),連續(xù)可控溫度以及Plasma強度等,配備真空系統(tǒng),可以實現(xiàn)低壓條件下的實驗,針對低溫石墨烯、碳納米管生長等。PECVD系統(tǒng)能使整個實驗腔體都處于輝光產生區(qū),輝光均勻等效,這種技術很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。

技術參數(shù):

型號

BTF-1200C-R-PECVD

顯示模式

7"液晶觸屏顯示

Z高溫度

1100

升溫速率

10/S

控溫精度

±1

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K

控溫方式

7"液晶觸屏與工控儀表雙重控溫,模糊PID控制和自整定調節(jié),人工智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能。

爐管尺寸

Φ60*420*2+Φ100*360mm

爐管轉速

3~13r/min

傾斜角度

0~35°

加熱功率

3KW

射頻功率輸出范圍

0~500W

供氣系統(tǒng)

標配三路質量流量計(50/100/200sccm)(量程可選)

供電電源

220V50Hz

通訊接口

USB

外形尺寸

1600mm*650mm*1400mm

設備凈重

約220KG


智能型雙溫區(qū)等離子化學氣相沉積系統(tǒng)(型號:BTF-1200C-II-A

主要特點:一、此設備的高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經典的閉環(huán)負反饋控

三溫區(qū)智能型等離子體化學沉積系統(tǒng)(BTF-1200C-III-500A

主要特點:此款智能型等離子體增強化學沉積系統(tǒng)的高溫真空爐加熱腔體采用進

連續(xù)進出料等離子體增強回轉設備-BTF-1200C-RP-PECVD

主要特點該款設備是全自動Plasma增強CVD系統(tǒng)(PECVD)

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