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堀場(chǎng)儀器（上海）有限公司

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BHF濃度計(jì) CS-137

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BHF濃度計(jì) CS-137

詳細(xì)介紹

概要
規(guī)格

概要

CS-137高精度化學(xué)藥液濃度計(jì)專(zhuān)為半導(dǎo)體制造時(shí)清洗制程中所使用的BHF溶液而設(shè)計(jì)。實(shí)現(xiàn)了過(guò)去所沒(méi)有的高速響應(yīng)性和小巧化，可用于監(jiān)測(cè)硅氧化膜的蝕刻以及晶片表面的微粒清除作業(yè)時(shí)所使用的BHF溶液(NH4F/HF/H2O)中的各成分濃度。依據(jù)濃度計(jì)的輸出而進(jìn)行的反饋控制，可以確保BHF溶液的濃度保持在允許范圍內(nèi)，同時(shí)，還可以避免不必要的藥液更換工作。

特征

監(jiān)測(cè)周期大約為3秒，支持300mm工藝的濃度管理。

實(shí)現(xiàn)了以大約3秒這樣短的測(cè)量周期，大幅提高了濃度的實(shí)時(shí)跟蹤性。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時(shí)反饋濃度信息。

小巧設(shè)計(jì)有利于清洗裝置節(jié)省空間

底面面積只有原先的2/3(*)左右，這樣的小巧化設(shè)計(jì)有利于清洗裝置節(jié)省空間?？梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。
*與本公司產(chǎn)品CS-327比較

通過(guò)減少清洗工藝中的批次不良，提高產(chǎn)量

通過(guò)濃度計(jì)的信號(hào)輸出，進(jìn)行BHF溶液的補(bǔ)給控制，從而實(shí)現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進(jìn)產(chǎn)量的全面提高。

全自動(dòng)監(jiān)測(cè)與簡(jiǎn)易控制

用戶(hù)只需引入BHF溶液即可。監(jiān)測(cè)是全自動(dòng)方式，因此開(kāi)始監(jiān)測(cè)后不需要進(jìn)行任何控制。另外，由于參照光譜測(cè)量時(shí)使用的是空氣，也可以測(cè)量水的濃度，從而可以跟蹤水因溶液蒸發(fā)和附著到晶圓而應(yīng)起的濃度變化。這樣有利于二氧化硅的調(diào)整控制。

通過(guò)采取全面的氣泡對(duì)策，可監(jiān)測(cè)高溫樣品

在脫泡槽中分離氣泡，在監(jiān)測(cè)過(guò)程中進(jìn)一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測(cè)單元內(nèi)的發(fā)生次數(shù)抑制在限度。并且，如果是冷卻器一體型產(chǎn)品，則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計(jì)。溫度補(bǔ)償將自動(dòng)進(jìn)行。

采用DC24V，實(shí)現(xiàn)高安全性

電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且，由于內(nèi)置漏水傳感器，在發(fā)生漏水時(shí)可以切斷BHF溶液的供應(yīng)等，采取緊急措施。

規(guī)格

型號(hào)		CS-137-2503	CS-137-1003
監(jiān)測(cè)對(duì)象		BHF(氫酸/氟化銨溶液)
測(cè)量原理		吸收分光譜測(cè)定法
濃度計(jì)算的原理		溫度補(bǔ)償型多變量解析法
量程		氟化銨：15.0?25.0% 氫氟酸：0.00?3.00% 水：72.0?85.0%	氟化銨：0.0?10.0% 氫氟酸：0.00?3.00% 水：87.0?100.0%
再現(xiàn)性		氟化銨：±0.3% 氫氟酸：±0.25% 水：±1.0%	氟化銨：±0.3% 氫氟酸：±0.25% 水：±1.0%
藥液條件	溫度	20?30℃
	流量	20?60mL/min
	壓力	0.10?0.20MPa
檢測(cè)周期		最小約3秒
設(shè)置溫度		20?30℃
操作面板		1)溫度檢測(cè)值的顯示：氟化銨、氫氟酸、水 2)報(bào)警信號(hào)的顯示(氟化銨、氫氟酸)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限 3)報(bào)警信號(hào)值的設(shè)定(氟化銨、氫氟酸)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
串行輸入		RS-232C 1)濃度數(shù)據(jù)：氟化銨、氫氟酸、水 2)報(bào)警信號(hào)值的設(shè)定(氟化銨、氫氟酸)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
并行輸入		DC12?30V(光耦合器絕緣) 并行濃度報(bào)警(有效/無(wú)效)
并行輸出		開(kāi)路集電極輸出為ON時(shí)電流：5mA；為OFF時(shí)的電壓：30V 1)報(bào)警信號(hào)的輸出(氟化銨、氫氟酸)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限 2)裝置異常(包括漏液在內(nèi)) 3)檢測(cè)中
模擬輸出		4?20mA(2輸出：NH4F濃度、HF濃度)
電源		DC24V±10%， 2A
外形尺寸		205(W)×329(D)×269(H)mm
質(zhì)量		約11kg
連接配管尺寸		導(dǎo)入用、排出用：外徑為6mm(內(nèi)徑為4mm)
配管接頭		Nippon Pillar Super型

有關(guān)上述以外的量程，請(qǐng)另行咨詢(xún)協(xié)商。

關(guān)鍵詞：電磁閥冷卻器傳感器

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