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光掩模(Reticle/Mask)顆粒探測系統(tǒng)PR-PD3

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

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更新時間：2022-08-12 14:30:27瀏覽次數(shù)：364次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：80條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

光掩模(Reticle/Mask)顆粒探測系統(tǒng)PR-PD3

詳細(xì)介紹

  • 概要
  • 規(guī)格

概要

外形小巧、運營成本低、應(yīng)用范圍廣
HORIBA的PD系列產(chǎn)品運轉(zhuǎn)效率高，具有長期穩(wěn)定性，受到眾多半導(dǎo)體制造工廠的高度評價。繼承了各個結(jié)構(gòu)簡單、長期穩(wěn)定運轉(zhuǎn)的搬運系統(tǒng)，高通過量、可靠性高的光學(xué)系統(tǒng)，以及具有防誤測功能等高性能設(shè)備并巧妙組合成一個整體的產(chǎn)品就是PR-PD3。和以往的機(jī)型(PR-PD2)相比，它的外形尺寸小了約1/2，追求低運營成本。檢測靈敏度達(dá)到0.5μm，具有廣泛通用性。誕生了可以用來滿足光掩模(reticle/mask)上異物檢測這一廣泛需求的簡便裝置。

特征

  • 和以往機(jī)型相比，設(shè)計小了1/2左右。 和PR-PD2相比較，底面面積小了1/2，實現(xiàn)了小巧化。由于占地面積大幅變小，所以即使添加操作裝置(可選件)，也可以自由地進(jìn)行布局。
  • 實現(xiàn)了低運營成本。 采用激光中具有超群經(jīng)濟(jì)性的氦氖激光，同時，采用了結(jié)構(gòu)簡單的載物臺搬運系統(tǒng)等，大幅度地降低了維護(hù)運營成本。
  • 有效的防誤測措施。 搭載有粗圖案用的偏振差動和細(xì)微圖案用的低通差動這二個功能。通過同時使用這二種方法，可以有效地防止OPC等具有兩種特性的圖案誤檢測。

規(guī)格

檢測對象

有(無)表膜光掩模(reticle/mask)上的微粒子

測量原理

激光散射方式

可次粒徑

約7分鐘/2個面(在5英寸Reticle) 2個面檢測(5英寸)從開始檢測到顯示數(shù)據(jù)約為7分鐘
※還可配有玻璃/表膜專用高速模式(約4分鐘/2個面)

靈敏度

圖案(Pattern)面：0.5μm、玻璃(Glass)面：5.0μm、表膜面(Pellicle)：10.0μm(※PSL相當(dāng))

光掩模盒 (請在訂貨時進(jìn)行)

制曝光裝置盒(5、6英寸用)　 (標(biāo)準(zhǔn)配置：對應(yīng)一種尺寸的Reticle)
※如需多盒處理，請另行協(xié)商。

測量結(jié)果

對應(yīng)數(shù)據(jù)顯示于平面顯示器

外觀尺寸

約900(W)×1350(D)×1590(H) mm
※上述是設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)尺寸。不同的分類器規(guī)格，尺寸大小有時也會不同

設(shè)

關(guān)鍵詞：顯示器

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