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堀場儀器(上海)有限公司
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更新時間:2022-08-12 14:53:22瀏覽次數(shù):249次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線HF/HNO3濃度計, CS-153N
CS-153N是一款高精度的化學(xué)藥液濃度計,適用于半導(dǎo)體制造中濕法蝕刻制程的嚴(yán)苛要求。蝕刻制程使用FPM藥液刻蝕二氧化硅和去除晶圓表面的顆粒。CS-153可持續(xù)監(jiān)測FPM藥液(HF/H2O2/H2O)中各個成分,在每一次藥液需要替換或補(bǔ)充時向用戶發(fā)出信號。因此可使FPM藥液的濃度保持在一個適當(dāng)?shù)姆秶胁⒖杀苊獠槐匾乃幰禾娲?/p>
實現(xiàn)了以大約2秒為監(jiān)測周期(*)的高速響應(yīng)。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。
*不包含藥液的置換時間、冷卻時間
*和本公司產(chǎn)品CS-327系列進(jìn)行比較
通過濃度計的信號輸出,進(jìn)行HF/HNO3溶液的補(bǔ)給控制,從而實現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良,從而推進(jìn)產(chǎn)量的全面提高。
用戶只需引入HF/HNO3溶液即可。監(jiān)測是全自動方式,因此開始監(jiān)測后不需要進(jìn)行任何控制。另外,由于參照光譜測量時使用的是空氣,所以不需要用水。
在脫泡槽中分離氣泡,在監(jiān)測過程中進(jìn)一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測單元內(nèi)的發(fā)生次數(shù)抑制在限度。
電源采用DC24V低壓電,提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且,由于內(nèi)置漏水傳感器,在發(fā)生漏水時可以切斷HF/HNO3溶液的供應(yīng)等,采取緊急措施。
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