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DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器

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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司

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DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器 DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)開(kāi)發(fā)的一款適用于半導(dǎo)體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器，用于半導(dǎo)體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)和高精度壓電閥控制技術(shù)使產(chǎn)品具有零漂小，精度高，響應(yīng)速度快，壓力不敏感的特點(diǎn)，產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬，金屬表面狀況符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的要求。

詳細(xì)介紹

DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器

DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)開(kāi)發(fā)的一款適用于半導(dǎo)體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器，用于半導(dǎo)體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)和高精度壓電閥控制技術(shù)使產(chǎn)品具有零漂小，精度高，響應(yīng)速度快，壓力不敏感的特點(diǎn)，產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬，金屬表面狀況符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的要求。

DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器

• 控制精度高，精度可達(dá)±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
• 響應(yīng)速度快，響應(yīng)時(shí)間≤ 0.5sec。
• 采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)，使產(chǎn)品具有壓力不敏感特性，能夠適用較大的氣源壓力波動(dòng)。
• DS300采用有效的機(jī)械加工技術(shù)與表面處理技術(shù)解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題，實(shí)現(xiàn)孔徑相對(duì)較小(孔徑<1mm)、深徑比相對(duì)較大(>10)的不銹鋼小孔、深盲孔以及交叉孔的表面電化學(xué)拋光處理，*符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)要求。

技術(shù)參數(shù)

DS300C
類型	DS300C
閥類型	常閉
流量規(guī)格(N2)	(0～30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10) SLM
準(zhǔn)確度	±1% S.P. (≥10% F.S.) ±1% F.S. (＜10% F.S.)
線性	±0.5% F.S.
重復(fù)精度	±0.2% F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤ 0.5sec
進(jìn)口壓力	240～450KPa 流量規(guī)格≤5SLM 350～450KPa 流量規(guī)格＞5SLM
出口壓力	≤1.2KPa 流量規(guī)格≤5SLM ≤13.3KPa 流量規(guī)格＞5SLM
溫度系數(shù)	零點(diǎn)：≤±0.02% F.S./℃；調(diào)節(jié)時(shí)：≤±0.1% F.S./℃
耐壓	3 MPa
漏率	1×10-11 Pa·m3 / sec He
密封材料	金屬密封
工作壓力	0.45MPa
工作環(huán)境溫度	（10～45）℃
輸入信號(hào)	數(shù)字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC
輸出信號(hào)	數(shù)字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC
零漂	在沒(méi)有零點(diǎn)校正時(shí)＜0.6%F.S./年
電源	±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極)
表面化學(xué)成分	Cr/Fe比例≥2.0； CrO 厚度≥20 （埃）
表面粗糙度	Ra 5μinch
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	VCR1/4陽(yáng)接頭； 1.125″C型密封接頭； 1.125″W型密封接頭； Compression Fittingφ6
電源接頭形式	D型9針陽(yáng)接頭； D型15針陽(yáng)接頭； DeviceNet接頭
重量	1.2Kg