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直流磁控濺射真空鍍膜設備

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產品型號

品       牌

廠商性質生產商

所  在  地

聯(lián)系方式:陳先生查看聯(lián)系方式

更新時間:2024-05-02 09:37:17瀏覽次數(shù):107次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:582條

所在地區(qū):河南鄭州市

聯(lián)系人:陳先生 (銷售)

產品簡介

直流磁控濺射真空鍍膜設備,7寸人機界面,自動手動模式切換控制,功率1000w直流磁控濺射

詳細介紹

直流磁控濺射真空鍍膜設備,7寸人機界面,自動手動模式切換控制,功率1000w直流磁控濺射

單靶直流磁控濺射鍍膜儀可用于制備單層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜等。該單靶磁控濺射鍍膜儀與同類設備相比,其不僅應用廣泛,且具有體積小便于操作的優(yōu)點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備,特別適用于實驗室研究固態(tài)電解質及OLED等

單靶直流磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發(fā)的一款高性價比磁控濺射鍍膜設備,具有標準化、模塊化、可定制化的特點。

所配電源為1000W大功率直流電源,可用于高能量的金屬濺射鍍膜,根據(jù)實驗需求也可以選配其他規(guī)格的直流或者射頻電源來實現(xiàn)各種材料的鍍膜操作。

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直流磁控濺射真空鍍膜設備技術參數(shù);

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空

機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺轉速

8轉/分鐘

樣品濺射源調節(jié)距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口







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