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長(zhǎng)春市博盛量子科技有限公司
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更新時(shí)間:2024-08-30 08:24:53瀏覽次數(shù):86次
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經(jīng)營(yíng)模式:代理商
商鋪產(chǎn)品:275條
所在地區(qū):吉林長(zhǎng)春市
聯(lián)系人:韓振宇 (銷(xiāo)售經(jīng)理)
D7型λ/1000超高精度激光干涉儀,設(shè)計(jì)緊湊、用戶(hù)界面友好,0.6nm的測(cè)量精度
D7型λ/1000超高精度激光干涉儀,設(shè)計(jì)緊湊、用戶(hù)界面友好,0.6nm的測(cè)量精度。非常好地測(cè)量高精密光學(xué)系統(tǒng)、復(fù)雜的表面形狀、大尺寸非球面偏差;揭示起源于制造技術(shù)的面形特征和缺陷。這對(duì)于建造精密的衛(wèi)星相機(jī)、高分辨望遠(yuǎn)鏡、強(qiáng)大的微芯片,乃至超快計(jì)算機(jī)都是的重要手段。
主要特點(diǎn):
D7型激光干涉儀提供0.6nm的測(cè)試準(zhǔn)確度和的重復(fù)性(世界紀(jì)錄)
RMS重復(fù)性:< 0.06 nm (λ/10500)
檢測(cè)球面、平面、非球面及自由形體
測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)的透射波陣面
曲率半徑測(cè)量
數(shù)據(jù)獲取:相移干涉測(cè)量法(PSI)
尺寸:490mm x 300mm x 260mm
D7型激光干涉儀:緊湊、可靠、使用方便
測(cè)試過(guò)程簡(jiǎn)便,只需三個(gè)步驟:
1. 把待測(cè)的光學(xué)系統(tǒng)或部件放在支架上
2. 用軟件界面準(zhǔn)直調(diào)整測(cè)試部件
3. 調(diào)整干涉條紋并按動(dòng)測(cè)量按鈕即可進(jìn)行測(cè)量
優(yōu)點(diǎn):
優(yōu)點(diǎn) | 好處 |
理想?yún)⒖迹河捎诓捎梦锢韰⒖?/span>,因而沒(méi)有傳輸誤差 | 1. 省時(shí):因?yàn)闊o(wú)需改變大量參考 2. 節(jié)省成本:因?yàn)闊o(wú)需購(gòu)買(mǎi)昂貴的參考裝置 |
比標(biāo)準(zhǔn)性能傳輸?shù)姆扑髑蛎娓缮鎯x有超過(guò)100倍更高的精度 | 節(jié)省時(shí)間和成本:因?yàn)椴恍枰虚g儀器和附加的方法來(lái)提高精度 |
D7型激光干涉儀比其它激光干涉儀可檢驗(yàn)更多的表面特征 | 由于在安裝和光學(xué)系統(tǒng)上市之前更好地揭示了制造誤差,從而節(jié)省了成本 |
穩(wěn)定性和堅(jiān)固性 | 1. 省時(shí):因?yàn)榈闹貜?fù)性提供準(zhǔn)確的測(cè)試數(shù)據(jù),無(wú)需反復(fù)地證明測(cè)試結(jié)果 2. 節(jié)省成本:因?yàn)?font face="Arial">D7型激光干涉儀不需要特殊的(工作)環(huán)境條件 |
應(yīng)用范圍寬 | 節(jié)省時(shí)間和成本:由于緊湊和簡(jiǎn)單的設(shè)置,可在實(shí)驗(yàn)室或工廠(chǎng)(現(xiàn)場(chǎng))垂直和水平方向使用D7型激光干涉儀 |
沒(méi)有可追溯的誤差 | 由于在測(cè)量非球面和自由形體時(shí)簡(jiǎn)化的設(shè)置,從而節(jié)省時(shí)間和成本 |
主要技術(shù)參數(shù):
性能 | |
精度 | ≤0.6 nm (λ/1000) |
RMS波前重復(fù)性 | ≤0.23 nm (λ/2800) |
數(shù)據(jù)采集時(shí)間 | 10ms |
光學(xué) | |
系統(tǒng)數(shù)值孔徑(NA) | 0.6 (F數(shù) 0.83) |
系統(tǒng)成像數(shù)值孔徑(NA) | 0.55 (F數(shù) 0.91) |
成像變焦系統(tǒng) | 軟件界面控制4 x光學(xué)變焦 |
成像 | 具有偽影去除選項(xiàng)的相干(無(wú)散射玻璃) |
CCD相機(jī) | 0.5k × 0.5k (可選:1k x 1k, 2k x 2k or 5k x 5k,也可按照客戶(hù)要求) |
高分辨率 | λ/8000 |
像素深度(數(shù)字化) | 12位 |
曝光時(shí)間 | 最少40μs |
傳感器像素分辨 | 500×500,直徑≥50mm |
聚焦控制 | 電動(dòng)及軟件界面控制 |
光學(xué)聚焦范圍 | ±2米 |
激光器 | |
激光類(lèi)型和波長(zhǎng) | 穩(wěn)定的He-Ne激光器,波長(zhǎng):632.8nm |
激光功率 | 2mW(更高功率可根據(jù)用戶(hù)的要求提供) |
偏振 | 可調(diào)節(jié)測(cè)試表面性質(zhì) |
相干 | ≥100米 |
系統(tǒng) | |
數(shù)據(jù)采集 | 相移干涉測(cè)量(PSI)或靜態(tài) |
PSI方法 | PZT電子相移 |
準(zhǔn)直范圍 | ±2.5度 |
準(zhǔn)直類(lèi)型 | 雙點(diǎn) |
準(zhǔn)直十字線(xiàn) | 計(jì)算機(jī)產(chǎn)生 |
*接受定制解決方案
D7型激光干涉儀的應(yīng)用:
I. 波前質(zhì)量
投影鏡頭
望遠(yuǎn)鏡
顯微鏡
光學(xué)鏡頭
II.表面光學(xué)質(zhì)量
球面
平面
角隅稜鏡
非球面
自由形體
參考光學(xué)系統(tǒng)
III.曲率半徑
把長(zhǎng)距離傳感器與D7激光干涉儀提供的聚焦精度相結(jié)合,可獲得ppm RoC精度
IV. 成像質(zhì)量
在部署之前驗(yàn)證你的光學(xué)系統(tǒng)的分辨能力
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