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超高精度激光干涉儀

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D7型λ/1000超高精度激光干涉儀,設(shè)計(jì)緊湊、用戶(hù)界面友好,0.6nm的測(cè)量精度

詳細(xì)介紹


D7λ/1000超高精度激光干涉儀,設(shè)計(jì)緊湊、用戶(hù)界面友好,0.6nm的測(cè)量度。非常好地測(cè)量高精密光學(xué)系統(tǒng)復(fù)雜的表面形狀、大尺寸非球面偏差;揭示起源于制造技術(shù)的面形特征和缺陷。這對(duì)于建造精密的衛(wèi)星相機(jī)、高分辨望遠(yuǎn)鏡、強(qiáng)大的微芯片,乃至超快計(jì)算機(jī)都是的重要手段。

 

 

主要特點(diǎn)

D7型激光干涉儀提供0.6nm的測(cè)試準(zhǔn)確度和的重復(fù)性(世界紀(jì)錄)

RMS重復(fù)性< 0.06 nm (λ/10500)

檢測(cè)球面、平面、非球面及自由形體

測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)的透射波陣面

曲率半徑測(cè)量

數(shù)據(jù)獲取相移干涉測(cè)量法(PSI)

尺寸:490mm x 300mm x 260mm

D7型激光干涉儀:緊湊可靠、使用方便

測(cè)試過(guò)程簡(jiǎn)便,只需三個(gè)步驟:

  1. 把待測(cè)的光學(xué)系統(tǒng)或部件放在支架上

2. 用軟件界面準(zhǔn)直調(diào)整測(cè)試部件

3. 調(diào)整干涉條紋并按動(dòng)測(cè)量按鈕即可進(jìn)行測(cè)量

 

優(yōu)點(diǎn):

優(yōu)點(diǎn)

好處

理想?yún)⒖迹河捎诓捎梦锢韰⒖?/span>,因而沒(méi)有傳輸誤差

1. 省時(shí)因?yàn)闊o(wú)需改變大量參考

2. 節(jié)省成本因?yàn)闊o(wú)需購(gòu)買(mǎi)昂貴的參考裝置

比標(biāo)準(zhǔn)性能傳輸?shù)姆扑髑蛎娓缮鎯x有超過(guò)100倍更高的精度

節(jié)省時(shí)間和成本:因?yàn)椴恍枰虚g儀器和附加的方法來(lái)提高精度

D7型激光干涉儀比其它激光干涉儀可檢驗(yàn)更多的表面特征

由于在安裝和光學(xué)系統(tǒng)上市之前更好地揭示了制造誤差,從而節(jié)省了成本

穩(wěn)定性和堅(jiān)固性

1. 省時(shí):因?yàn)榈闹貜?fù)性提供準(zhǔn)確的測(cè)試數(shù)據(jù),無(wú)需反復(fù)地證明測(cè)試結(jié)果

2. 節(jié)省成本:因?yàn)?font face="Arial">D7型激光干涉儀不需要特殊的(工作)環(huán)境條件

應(yīng)用范圍寬

節(jié)省時(shí)間和成本:由于緊湊和簡(jiǎn)單的設(shè)置,可在實(shí)驗(yàn)室或工廠(chǎng)(現(xiàn)場(chǎng))垂直和水平方向使用D7型激光干涉儀

沒(méi)有可追溯的誤差

由于在測(cè)量非球面和自由形體時(shí)簡(jiǎn)化的設(shè)置,從而節(jié)省時(shí)間和成本

 

主要技術(shù)參數(shù)

性能

精度

0.6 nm (λ/1000)

RMS波前重復(fù)性

0.23 nm (λ/2800)

數(shù)據(jù)采集時(shí)間

10ms

光學(xué)

系統(tǒng)數(shù)值孔徑(NA)

0.6 (F數(shù) 0.83)

系統(tǒng)成像數(shù)值孔徑(NA)

0.55 (F數(shù) 0.91)

成像變焦系統(tǒng)

軟件界面控制4 x光學(xué)變焦

成像

具有偽影去除選項(xiàng)的相干(無(wú)散射玻璃)

CCD相機(jī)

0.5k × 0.5k (可選:1k x 1k, 2k x 2k or 5k x 5k,也可按照客戶(hù)要求)

高分辨率

λ/8000

像素深度(數(shù)字化)

12

曝光時(shí)間

最少40μs

傳感器像素分辨

500×500,直徑50mm

聚焦控制

電動(dòng)及軟件界面控制

光學(xué)聚焦范圍

±2

激光器

激光類(lèi)型和波長(zhǎng)

穩(wěn)定的He-Ne激光器,波長(zhǎng):632.8nm

激光功率

2mW(更高功率可根據(jù)用戶(hù)的要求提供)

偏振

可調(diào)節(jié)測(cè)試表面性質(zhì)

相干

100

系統(tǒng)

數(shù)據(jù)采集

相移干涉測(cè)量(PSI)或靜態(tài)

PSI方法

PZT電子相移

準(zhǔn)直范圍

±2.5

準(zhǔn)直類(lèi)型

雙點(diǎn)

準(zhǔn)直十字線(xiàn)

計(jì)算機(jī)產(chǎn)生

*接受定制解決方案

 

D7型激光干涉儀的應(yīng)用:

I. 波前質(zhì)量

投影鏡頭

望遠(yuǎn)鏡

顯微鏡

光學(xué)鏡頭

 

II.表面光學(xué)質(zhì)量

球面

平面

角隅稜鏡

非球面

自由形體

 參考光學(xué)系統(tǒng)

 

III.曲率半徑

把長(zhǎng)距離傳感器與D7激光干涉儀提供的聚焦精度相結(jié)合,可獲得ppm RoC精度

 

IV. 成像質(zhì)量

在部署之前驗(yàn)證你的光學(xué)系統(tǒng)的分辨能力


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