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山東東南儀誠實驗室設(shè)備有限公司
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更新時間:2023-07-17 11:14:03瀏覽次數(shù):171次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線■操作性功能●射頻13.56Mhz0-300W高功率機型,發(fā)生器自動匹配,無需調(diào)節(jié)反射波,進一步增加的操作的便捷性
型號 | PDC200 |
等離子模式 | RIE( DP模式選配) |
電極構(gòu)造 | 平行平板(固定) |
高頻輸出 | Max300W |
頻率 | 13.56MHz |
控制?顯示 | 液晶觸摸屏 |
反應(yīng)室尺寸 | W400 x D250 x H150mm |
電極尺寸 | W250xD170mm |
反應(yīng)室材質(zhì) | 鋁 |
反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)(Ar、O2) |
填充氣體 | N2或干燥空氣 |
反應(yīng)氣體流量控制 | 流量計 |
真空泵 | 另行選配 |
氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個 |
外形尺寸 | W540 x D600 x H600mm |
重量 | 約 100kg |
電源 | 單相 AC100V10A |
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