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更新時(shí)間：2022-11-16 14:53:52瀏覽次數(shù)：527次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線專(zhuān)用掃描透射顯微鏡HD-2700，配備了與德國(guó)CEOS GmbH公司(總經(jīng)理Max Haider先生)共同開(kāi)發(fā)的球差校正儀，顯著提高了掃描透射電子顯微鏡的性能，更適合高級(jí)納米技術(shù)研究。由于球差校正系統(tǒng)校正了限制電子顯微鏡的性能的球差，使其與標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)顯微鏡相比，分辨率提高了1.5倍，同時(shí)，探針電流提高了10倍。最近，該顯微鏡還配備了高分辨率鏡頭和冷場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)M(jìn)一步提高了圖像分辨率和電子束能量分辨......
專(zhuān)用掃描透射顯微鏡HD-2700，配備了與德國(guó)CEOS GmbH公司(總經(jīng)理Max Haider先生)共同開(kāi)發(fā)的球差校正儀，顯著提高了掃描透射電子顯微鏡的性能，更適合高級(jí)納米技術(shù)研究。由于球差校正系統(tǒng)校正了限制電子顯微鏡的性能的球差，使其與標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)顯微鏡相比，分辨率提高了1.5倍，同時(shí)，探針電流提高了10倍。
最近，該顯微鏡還配備了高分辨率鏡頭和冷場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)M(jìn)一步提高了圖像分辨率和電子束能量分辨率。同時(shí)，該型號(hào)系列還增加了一款不帶球差校正的主機(jī)配置，可以以后加配球差校正進(jìn)行升級(jí)。
| 項(xiàng)目 | 描述 | ||
|---|---|---|---|
| 圖像分辨率 | w/o球差校正儀 | 保證 0.204 nm(當(dāng)放大倍數(shù)為4,000,000時(shí)) | |
| w球差校正儀 | 保證 0.144 nm(當(dāng)放大倍數(shù)為7,000,000時(shí))(標(biāo)準(zhǔn)鏡頭) | ||
| 保證 0.136 nm(HAADF圖像) 保證 0.105 nm(通過(guò)FFT)(當(dāng)放大倍數(shù)為7,000,000時(shí))(高分辨率鏡頭*) | |||
| 放大倍數(shù) | 100倍 至 10,000,000倍 | ||
| 加速電壓 | 200 kV, 120 kV * | ||
| 成像信號(hào) | 明場(chǎng)掃描透射電子顯微鏡：相襯圖像(TE圖像) 暗場(chǎng)掃描透射電子顯微鏡：原子序數(shù)襯度圖像(Z襯度圖像) 二次電子圖像(SE圖像) 電子衍射* 特征X射線分析和面分布(能譜分析)* 電子能量損失譜分析和面分布(EV3000)* | ||
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子源 | 肖特基發(fā)射電子源 | |
| 冷場(chǎng)致發(fā)射器* | |||
| 照明透鏡系統(tǒng) | 2-段聚光鏡鏡頭 | ||
| 球差校正儀* | 六極鏡頭設(shè)計(jì) | ||
| 掃描線圈 | 2-段式電磁感應(yīng)線圈 | ||
| 原子序數(shù)襯度收集角控制 | 投影鏡設(shè)計(jì) | ||
| 電磁圖像位移 | ±1 µm | ||
| 試片鏡臺(tái) | 樣品移動(dòng) | X/Y軸 = ±1 mm, Z軸 = ±0.4 mm | |
| 樣品傾斜 | 單軸-傾斜樣品桿：±30°(標(biāo)準(zhǔn)鏡頭), ±18°(高分辨率鏡頭*) | ||
| 真空系統(tǒng) | 3個(gè)離子泵，1個(gè)TMP | ||
| 極限真空 | 10-8 Pa(電子槍), 10-5 Pa(樣品室) | ||
| 圖像顯示 | 個(gè)人電腦／操作系統(tǒng) | PC/AT兼容, Windows® XP | |
| 監(jiān)視器 | 19-inch液晶顯示器面板 | ||
| 圖像幀尺寸 | 640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素 | ||
| 掃描速度 | 快掃，慢掃(0.5至320秒/幀) | ||
| 自動(dòng)數(shù)據(jù)顯示 | 記錄序號(hào)，加速電壓，下標(biāo)尺，日期，時(shí)間 | ||
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