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艾里卡特Alicat BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器

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更新時間：2023-02-11 10:29:36瀏覽次數(shù)：202次

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產(chǎn)品簡介

BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器，能為用戶提供可重復(fù)、可靠、經(jīng)濟(jì)的氣體流量控制方案。

詳細(xì)介紹

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艾里卡特Alicat BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器

OEM應(yīng)用中的基礎(chǔ)流量控制

對于大數(shù)額訂單，BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器，能為用戶提供可重復(fù)、可靠、經(jīng)濟(jì)的氣體流量控制方案。專為原始設(shè)備制造商（OEM）無應(yīng)力設(shè)備集成而設(shè)計的BASIS輕便靈巧、內(nèi)置高精度MEMS傳感器、并具有艾里卡特*的快速閥門控制。


可靠。BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器絕不會讓您感到失望，NIST可溯源的精度與重復(fù)性使其在工作第700天時仍像天一樣。

靈敏。您不會再因為壓力峰值而毀了一整天。BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器具有的控制速度和閥門調(diào)節(jié)，能帶給用戶的益處將遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出預(yù)期。

兼容。BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用范圍相當(dāng)廣，輕便靈巧、多氣體標(biāo)定、模擬及數(shù)字雙重通訊將為您的項目設(shè)計提供更大的靈活性。

艾里卡特Alicat提供*的質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。


性能

可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見零件編號標(biāo)簽）

可調(diào)比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）

校準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數(shù)+0.5%滿量程）

可重復(fù)性：0.5%滿量程

標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時間常數(shù)：100ms（可利用PID調(diào)節(jié)功能調(diào)節(jié)）

預(yù)熱時間：70ms，達(dá)到完整精度


工作條件

兼容氣體：空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣、一氧化二氮（可通過串行連接選擇氣體）；訂購時還可以選擇氦氣或氫氣校準(zhǔn)（僅使用一種氣體）

工作溫度：0°C至+50°C

內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：對于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；對于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）

耐受壓力：175 psig（190 psia）

STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）


包裝清單

BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）

NIST可溯源校準(zhǔn)證書

艾里卡特操作說明書


配件（需另行訂購）

過程端口接頭和過濾器

通訊線纜

Flow Vision軟件



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