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半導體晶圓微操作、檢驗設(shè)備

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更新時間：2022-10-11 15:28:45瀏覽次數(shù)：191次

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北京卓立漢光儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

此系統(tǒng)是卓立漢光推出的針對半導體晶圓進行微操作、檢驗的通用開發(fā)平臺。系統(tǒng)中包括：半導體晶圓裝夾單元、半導體晶圓對位單元、機器視覺單元和微操作機械手單元，配套有完整的運動控制系統(tǒng)和機器視覺軟件?？梢愿鶕?jù)客戶不同的需求，實現(xiàn)對半導體晶圓進行裝夾、對位、轉(zhuǎn)印、清潔、檢驗等功能。

詳細介紹

產(chǎn)品概述

說明：

半導體晶圓微操作、檢驗設(shè)備特點：

系統(tǒng)包含完整的裝夾和對位結(jié)構(gòu)，可以根據(jù)客戶實際需求定制
控制系統(tǒng)和機器視覺系統(tǒng)留有二次開發(fā)接口
兼容客戶不同的晶圓結(jié)構(gòu)，不同的Mark點圖形、進行不同的操作動作
可對半導體晶圓進行多維度微步調(diào)整
多工位配置，提高工作效率

系統(tǒng)參數(shù)：（本系列產(chǎn)品為設(shè)計規(guī)格，技術(shù)指標以最終發(fā)布內(nèi)容為準）

指標	參數(shù)
機器視覺分辨率(μm)	0.1
顯微鏡倍率	0.5~4.5
攝像頭分辨率	2048×1536
幀率（fps）	15
攝像頭類型	單色
光源	單色同軸光源
Mark點識別重復性(μm)	0.1
Mark點識別對位精度(μm)	<0.5
大行程X軸滑臺行程（mm）	400
大行程Y軸滑臺行程（mm）	200
大行程重復定位精度（μm）	1
大行程運動分辨率（μm）	±1
精密對位X軸滑臺行程（mm）	10
精密對位Y軸滑臺行程（mm）	10
精密對位Z軸滑臺行程（mm）	20
精密對位線性維度單向重復定位精度（μm）	±1
精密對位線性運動分辨率（μm）	0.1
精密對位θZ軸滑臺行程（°）	5
晶圓工位（個）	2
晶圓真空吸附通道（路）	4