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SKCC-TFB-X高真空磁控濺射永磁靶頭(條形方靶)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

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更新時間:2023-06-30 10:59:59瀏覽次數(shù):128次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:979條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

SKCC-TFB-X高真空磁控濺射永磁靶頭(條形方靶)

詳細(xì)介紹

 

產(chǎn)品簡介:SKCC-TFB-X高真空磁控濺射永磁靶頭(條形方靶)適用靶材種類較廣,如金屬/絕緣靶或磁性/非磁性靶材。配裝有環(huán)形永磁體在頭上,以保證濺射鍍膜的效率和均勻性??膳cDC或RF電源配合使用。

 

產(chǎn)品型號

SKCC-TFB-X(高真空條形方靶)

產(chǎn)品規(guī)格

SKCC-TFB-X:

X代表方靶的“長X寬”尺寸,例如:

方靶尺寸:300X70(mm),則名稱為:SKCC-TFB-300x75

700X90(mm),SKCC-TFB-700x90

1000X120(mm),SKCC-TFB-1000x120

方靶尺寸范圍:

長:220-2000,寬:75-150  單位:mm

其它尺寸可以根據(jù)客戶要求訂制:

主要特點(diǎn)

1、采用電磁場的有元計算法來設(shè)計永磁體,以得到較高的磁場強(qiáng)度和均勻分布;

2、條形方靶采用特殊結(jié)構(gòu)(大型條形方靶經(jīng)過生產(chǎn)線檢驗(yàn)),可保證長期工作;

4、標(biāo)準(zhǔn)的接頭,大型與DC匹配,小型既可以與DC電源匹配也可以RF電源相匹配

5、安裝采用標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭(CF金屬密封或Dg膠圈密封可選);

6、靶材更換較為簡單,無需調(diào)整濺射頭的高度。

配套電源

1、直流DC;2、射頻RF


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