激光干涉儀是實(shí)現(xiàn)大量程納米測(cè)量的重要方法，由于激光的高方向性、高單色性和高相干性特點(diǎn)，使得激光干涉儀具有普通光源所無(wú)法替代的優(yōu)勢(shì)。隨著精密測(cè)量的性能需求愈來(lái)愈高，具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大及對(duì)待測(cè)振動(dòng)表面無(wú)干擾等特點(diǎn)的激光干涉測(cè)量技術(shù)已廣泛應(yīng)用于精密測(cè)量和計(jì)量領(lǐng)域。
激光干涉儀原理
單頻激光干涉儀是干涉位移精密測(cè)量的重要方法，具有大量程、納米級(jí)分辨率、波長(zhǎng)溯源等典型優(yōu)點(diǎn)，但因?yàn)閱晤l激光干涉儀是直流測(cè)量系統(tǒng)，必然具有直流光平和電平零點(diǎn)漂移的弊端。針對(duì)這種狀況，中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)出
單頻激光干涉儀 ——SJ6000激光干涉儀。
SJ6000激光干涉儀
SJ6000激光干涉儀作為
單頻激光干涉儀，是在一般單頻激光干涉儀基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀，也叫雙頻激光干涉儀。是用頻率為幾兆赫的交流信號(hào)作為干涉信號(hào)，這樣當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)的時(shí)候，干涉信號(hào)根據(jù)多普勒效應(yīng)原理，原有的交流信號(hào)頻率增加或減少了A/，結(jié)果依然是一個(gè)交流信號(hào)。這樣，即使光強(qiáng)大幅度衰減，G仍可得到合適的電信號(hào)。同時(shí)不僅能進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測(cè)量，還能組合相應(yīng)的功能模塊元件測(cè)量振動(dòng)幅度、角度、線速度、平面度等，可以棄普通車間進(jìn)行應(yīng)用，環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)。
數(shù)控機(jī)床精度校準(zhǔn)
測(cè)量機(jī)床回轉(zhuǎn)軸精度
測(cè)量機(jī)床直線度
產(chǎn)品參數(shù) 穩(wěn)頻方式：雙頻激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
線性測(cè)量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測(cè)量距離：（0-80）m（無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件）
角度測(cè)量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測(cè)量分辨力：1nm
動(dòng)態(tài)采集頻率：50KHz
預(yù)熱時(shí)間：≤6分鐘
工作溫度范圍：（0-40）℃
環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%
主要特點(diǎn)：應(yīng)用范圍廣、測(cè)量精度高、操作方便
產(chǎn)品功能特點(diǎn) 1）功能廣 - 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
- 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
- 可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；
- 可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；
- 可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測(cè)量；
- 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
2）精度高 - 采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；
- 干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠；
- 采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。
3）軟件強(qiáng) - 簡(jiǎn)潔化的記錄管理；
- 向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/li>
- 豐富的應(yīng)用功能模塊；
- 友好的人機(jī)界面；
- 支持中文、英文和俄文界面；
- 支持企業(yè)專屬模板定制。
配件與證書(shū) 中圖儀器堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，現(xiàn)有員工200余人，集光、機(jī)、電、信息技術(shù)于一體的*技術(shù)團(tuán)隊(duì)，致力于精密測(cè)量、計(jì)量檢測(cè)等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)機(jī)構(gòu)、汽車、機(jī)械制造、半導(dǎo)體加工、3C電子等行業(yè)，在精密測(cè)量、計(jì)量檢測(cè)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步做出了應(yīng)有的貢獻(xiàn)。未來(lái)，中圖儀器仍將繼續(xù)專注于未來(lái)！
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