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廣州市固潤(rùn)光電科技有限公司


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Table stable 防震臺(tái)-主動(dòng)隔震臺(tái)-主動(dòng)減震臺(tái)-隔振臺(tái) AVI-600XL

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產(chǎn)品型號(hào)AVI-600XL

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Tablestable|防震臺(tái)-主動(dòng)隔震臺(tái)-主動(dòng)減震臺(tái)-隔振臺(tái)AVI-600XL是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統(tǒng),用于抵消工作環(huán)境對(duì)靈敏度高的精密設(shè)備產(chǎn)生的不必要振動(dòng),以提高精密設(shè)備的性能,具有的性能及通用性。該隔振臺(tái)的主動(dòng)隔振頻率為 0.5Hz - 200Hz,被動(dòng)隔振頻率200Hz,其能夠整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振的設(shè)備中,主動(dòng)檢測(cè)輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除;允許自由選擇整個(gè)系統(tǒng)的尺寸和配置,......

詳細(xì)介紹

Table stable |防震臺(tái)-主動(dòng)隔震臺(tái)-主動(dòng)減震臺(tái)-隔振臺(tái) AVI-600XL為各類精密儀器主動(dòng)減振臺(tái)-防振臺(tái)-隔振臺(tái),光學(xué)顯微鏡主動(dòng)防振臺(tái)-干涉儀主動(dòng)防震臺(tái)-電子天平防振臺(tái)-輪廓儀防震臺(tái)-半導(dǎo)體設(shè)備主動(dòng)防震臺(tái)-激光設(shè)備防振臺(tái)-微納加工精密儀器防振系統(tǒng)。優(yōu)點(diǎn):六軸方向自由度隔防振臺(tái),超低頻負(fù)剛度防震臺(tái),高負(fù)載主動(dòng)防震臺(tái)!

Table stable-主動(dòng)隔震臺(tái)-防震臺(tái)-減震臺(tái)AVI-600XL

產(chǎn)品描述:

AVI系列主動(dòng)隔震臺(tái)-防震臺(tái)-減震臺(tái)是一款緊湊型模塊化的主動(dòng)隔振系統(tǒng),可在寬頻率范圍內(nèi)為電子顯微鏡和類似的大型研究?jī)x器提供業(yè)界的主動(dòng)隔振性能(從0.5 Hz開(kāi)始)。AVI系列平臺(tái)通過(guò)消除影響測(cè)量的破壞性低頻振動(dòng)噪聲,幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益,并且平臺(tái)采用了低調(diào)的模塊化設(shè)計(jì),無(wú)需為大多數(shù)儀器(包括大多數(shù)SEM)安裝所需的升降設(shè)備,從而簡(jiǎn)化了安裝過(guò)程。

適用于各類大型電子顯微鏡AEMSEMATMTEM,防震臺(tái),輪廓儀防震臺(tái),電子太平防震臺(tái),超快激光系統(tǒng)防震臺(tái),時(shí)頻系統(tǒng)防震臺(tái),大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái),激光設(shè)備主動(dòng)防震!

工作原理:

主動(dòng)隔震臺(tái)使用電氣控制,通過(guò)對(duì)傳入振動(dòng)施加反方向的力來(lái)立即消除振動(dòng)。傳感器不斷監(jiān)測(cè)振動(dòng),并基于該信息,執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力,并繼續(xù)產(chǎn)生的振動(dòng)隔離狀態(tài)。主動(dòng)式隔振臺(tái)擅長(zhǎng)于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。

AVI系列主動(dòng)隔震臺(tái)采用*的隔振技術(shù),適用于任何研究情況下,可以隔離6個(gè)自由度方向上的振動(dòng),包括水平和垂直方向。AVI系列平臺(tái)利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來(lái)傳感外界傳入的振動(dòng),通過(guò)將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號(hào)發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中,然后改換能器產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等,相位相反的壓力信號(hào)來(lái)消除傳入振動(dòng)。隔振系統(tǒng)利用一個(gè)反饋回路來(lái)消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振??蔀閷?shí)驗(yàn)室中對(duì)震動(dòng)敏感的設(shè)備如電鏡,光學(xué)器件等精密儀器隔離來(lái)自地面的震動(dòng),提供穩(wěn)定的測(cè)試環(huán)境。

產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 六個(gè)空間方向自由隔振(0.5Hz – 200Hz主動(dòng)隔振, >200Hz被動(dòng)隔振)
  • 5-20ms響應(yīng)時(shí)間
  • 低頻隔振性能優(yōu)異,安裝和使用簡(jiǎn)單
  • 系統(tǒng)主動(dòng)檢測(cè)輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除
  • 緊湊、模塊化的多功能設(shè)計(jì)
  • 穩(wěn)定性高,能連續(xù)使用多年
  • 無(wú)低頻共振、無(wú)空氣要求

應(yīng)用范圍:

  • 超高真空掃描探針顯微鏡(UHV-SPM)
  • 光刻工具
  • 高精度計(jì)量工具
  • 光譜儀器

技術(shù)參數(shù):

  • 型號(hào):AVI-600XL/LP
  • 系統(tǒng)配置:獨(dú)立隔振裝置 & 控制裝置
  • 主動(dòng)隔振范圍:大致為1.0 Hz – 200 Hz
  • 被動(dòng)隔振范圍:大致為200 Hz以上
  • 顯示屏信號(hào):多路復(fù)用信號(hào)用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動(dòng)水平。
  • LEDs 指示輸出階段的過(guò)載情況。
  • 單元尺寸(每個(gè)):318 x 856 x 112.5 Hmm
  • 控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm
  • 隔振單元重量: 34kg
  • 負(fù)載能力:1200 kg (同等/低重心)
  • 輸入電壓: 90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC, 50 – 60 Hz
  • 功耗:通常27W
  • 校正力:水平12N,垂直24N
  • 系統(tǒng)噪音:0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
  • 靜態(tài)柔度:垂直約1µm/N,水平約2 µm/N
  • 溫度范圍:5℃ – 40℃
  • 相對(duì)濕度:10 – 90 % (5 – 30 ℃)?10 – 60 % (30 – 40 ℃)
  • 室內(nèi)/室外使用:僅用于室內(nèi)

升級(jí)選項(xiàng):

  • Table stable|主動(dòng)隔震臺(tái)-防震臺(tái)-減震臺(tái)AVI-600XL可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來(lái)增強(qiáng)低頻隔振效果,隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

隔振效果:

性能對(duì)比圖:SEM 的研究人員在兩種條件下進(jìn)行成像: 不含隔zhen系統(tǒng)和包含AVI系列隔震臺(tái)。當(dāng)使用AVI系列減震臺(tái)搭載SEM時(shí),所得圖像表明圖像質(zhì)量和整體測(cè)量清晰度得到大幅提升。

隔振臺(tái)-Table stable-低頻隔振臺(tái)AVI-400S的隔振效果圖

標(biāo)簽:AVI系列Table stable主動(dòng)減振臺(tái)主動(dòng)減震臺(tái)主動(dòng)防振臺(tái)主動(dòng)防震臺(tái)主動(dòng)隔震臺(tái)傳感器低頻穩(wěn)定器減振臺(tái)減震臺(tái)加速度傳感器示波器防振臺(tái)防震臺(tái)隔振隔振臺(tái)隔振系統(tǒng)隔震臺(tái)


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