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GM-102B二氧化氮?dú)怏w傳感器

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產(chǎn)品簡介

MEMS 二氧化氮?dú)怏w傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低…

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳情

MEMS 二氧化氮?dú)怏w傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料。當(dāng)環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時(shí)傳感器電導(dǎo)率發(fā)生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對應(yīng)的輸出信號。

產(chǎn)品優(yōu)勢

本品采用MEMS工藝，結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，對二氧化氮靈敏度高；具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應(yīng)恢復(fù)快、驅(qū)動電路簡單、穩(wěn)定性好、壽命長等優(yōu)點(diǎn)。

主要應(yīng)用

便攜式與固定式二氧化氮檢測儀。

技術(shù)指標(biāo)

產(chǎn)品型號			GM-102B
產(chǎn)品類型			MEMS二氧化氮?dú)怏w傳感器
標(biāo)準(zhǔn)封裝			陶瓷封裝
檢測氣體			二氧化氮
檢測濃度			0.1-10ppm(NO2)
標(biāo)準(zhǔn)電路條件	回路電壓	V_c	≤24V DC
	加熱電壓	V_H	2.0V±0.1V ACorDC
	負(fù)載電阻	R_L	可調(diào)
標(biāo)準(zhǔn)測試條件下氣敏元件特性	加熱電阻	R_H	80Ω±20Ω（室溫）
	加熱功耗	P_H	≤40mW
	敏感體表面電阻	R_s	10KΩ-1000KΩ(in 2ppm NO2)
	靈敏度	S	Rs(in air)/Rs(2ppmNO2)≤0.5
標(biāo)準(zhǔn)測試條件	溫度、濕度		20℃±2℃；55%±5%RH
標(biāo)準(zhǔn)測試條件	標(biāo)準(zhǔn)測試電路		Vc:5.0V±0.1V； V_H:2.0V±0.1V