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XP-703D微量氣體檢漏儀/氣體泄漏報警儀/氣體濃度分析儀砷化三氫、、硅烷、氫氣、

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便攜式硅烷/ SiH4分析儀

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產(chǎn)品簡介

XP-703D微量氣體檢漏儀/氣體泄漏報警儀/氣體濃度分析儀砷化三氫、、硅烷、氫氣、

詳細介紹

XP-703D 特長
	適用于半導(dǎo)體材料氣體的超微量泄漏檢測。
	通過報警燈及蜂鳴器即可得知氣體泄漏。

規(guī)格

XP-703D

檢測對象氣體

半導(dǎo)體材料氣體(砷化三氫、、硅烷等)

檢測原理

熱線型半導(dǎo)體式

能檢測的泄漏量

能檢測的濃度

	砷化三氫
	AsH3
	1.0×10^-7
	0.2


	PH3
	1.5×10^-7
	0.3



	0.5×10^-7
	0.1

	硅烷
	SiH4
	2.5×10^-7
	0.5

	氫氣
	H2
	5×10^-7 Pa?m3 /s
	1.0 ppm

應(yīng)答時間

10 秒

檢測表示

蜂鳴器發(fā)出斷續(xù)音且警報燈閃爍

電源 ※1

5號錳干電池4節(jié)

電池使用時間

使用堿性干電池使用約9小時(使用錳干電池約3小時)

使用溫度范圍

0℃～ 40℃

外形尺寸

W68×H155×D32㎜

重量

約 400g

附件

皮套、排放過濾器、過濾片、檢查氣體、標準附屬品、5號錳干電池4本

另售的選購件

Ni-Cd 電池專用充電器、耳機

關(guān)鍵詞：電池



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