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寧波凈化工程

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更新時間：2024-07-20 07:58:22瀏覽次數(shù)：63次

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相關(guān)規(guī)范：《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50472-2008

《潔凈室施工及驗收規(guī)范》GB50591-2010

電子潔凈廠房潔凈度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設(shè)計或規(guī)范受控，另外該類潔凈室對靜電要求嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間。特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定。這時可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分。由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。

潔凈室系指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進行控制的密閉性較好的空間。

　　潔凈室要達到潔凈等級，必須有綜合措施，其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現(xiàn)潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言，主要有以下幾項具體措施 [1] ：

　?。?）對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。因此，必須選用高效或亞高效過濾器（潔凈級別低時）作為終端過濾器，對進入潔凈室的空氣，進行*后一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命，必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進行過濾。

　　（2）根據(jù)潔凈室的等級，合理選擇潔凈室的氣流分布流型，在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)；盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區(qū)；氣流的流動有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風口排走。

　?。?）有足夠的風量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩(wěn)定的氣流流型。

　　（4）不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值。

關(guān)鍵詞：芯片高效過濾器中效過濾器