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三溫區(qū)1500℃ PECVD系

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更新時(shí)間：2023-02-28 09:58:02瀏覽次數(shù)：190次

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長(zhǎng)沙沛鈺進(jìn)出品貿(mào)易有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品詳情型號(hào)：OTF-1500X-III-4CV-PE-SL產(chǎn)品概述：OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng)，該設(shè)備由射頻電源、1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳情

型號(hào)：OTF-1500X-III-4CV-PE-SL

產(chǎn)品概述：OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng)，該設(shè)備由射頻電源、1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)可廣泛應(yīng)用于生長(zhǎng)納米線、石墨烯及薄膜材料領(lǐng)域。

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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情

設(shè)備名稱

三溫區(qū)1500℃ PECVD系統(tǒng)—OTF-1500X-III-4CV-PE-SL （2019.11.14-科晶實(shí)驗(yàn)室審核）

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 帶有石英觀察窗口的不銹鋼真空密封法蘭，便于觀察等離子發(fā)光（圖1）；

? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)，從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；

? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控；

? 此款設(shè)備可安裝控制模塊，將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦（圖2、3）；

? 此款設(shè)備可選配控溫精度為±0.1℃的歐陸儀表（圖4）。

產(chǎn)品特點(diǎn)圖1.JPG 產(chǎn)品特點(diǎn)圖2.jpg 產(chǎn)品特點(diǎn)圖3.PNG 圖片1.png

基本參數(shù)

? 工作溫度1500℃（<30min）；連續(xù)使用溫度1400℃；

? 三個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃，帶有超溫和斷偶保護(hù)；

? 輸入電源： 208-240V，AC，單相；功率：6.6 KW；

? 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備加熱效率及反射率，同時(shí)延長(zhǎng)儀器的使用壽命。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）

? 注意：此設(shè)備不標(biāo)配爐管。購(gòu)買前請(qǐng)與我們銷售確定爐管相關(guān)事宜。

圖片1.png 圖片2.png

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-500W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-100W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）
匹配	自動(dòng)匹配	自動(dòng)匹配	手動(dòng)匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
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