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愛德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iGX600L 干式泵

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產(chǎn)品簡介

愛德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iGX600L干式泵概述iGX干式真空泵系列為大修之間零維護(hù)樹立了新標(biāo)準(zhǔn)

詳細(xì)介紹

愛德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iGX600L 干式泵

概述

iGX 干式真空泵系列為大修之間零維護(hù)樹立了新標(biāo)準(zhǔn)。效率提高的同時(shí)降低了運(yùn)行成本，并在整個(gè)壓力范圍內(nèi)保持連續(xù)一致的泵送能力。

iGX 干泵包括以太網(wǎng)連接功能，允許通過網(wǎng)頁查看主要數(shù)據(jù)，另外還包括一套全面的網(wǎng)絡(luò)選項(xiàng)，可確保泵持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

iGX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合各種應(yīng)用條件，包括從清潔到中等負(fù)載的各種工藝。模塊化設(shè)計(jì)允許用戶對(duì) iGX 干泵進(jìn)行配置以適合各個(gè)工廠的要求。超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠(yuǎn)程在內(nèi)的多種安裝選項(xiàng)。

應(yīng)用

負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量

iGX600L 干式泵 200-230V 50/60 Hz

A

iGX600L 干式泵 380-460V 50/60 Hz

A

功能和優(yōu)勢

低運(yùn)行成本

與 iL/iH 干泵相比，設(shè)施成本Z多可降低 50%
無需預(yù)防性維護(hù)

靈活的安裝選項(xiàng)

小巧輕便，便于安裝
工具上、近程或遠(yuǎn)程

可以改進(jìn)工具吞吐量

可用的Z快的負(fù)載鎖定泵之一

全程一致的泵送性能

在 50 和 60 Hz 下抽速相同

降低了環(huán)境噪音

僅 55 dB(A)

峰值速度范圍寬

100、300、600 和 800 m3h-1

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度	620 m3h-1
	365 cfm
	10333 l min-1
極限壓力	7.00E-04 mbar
	5.25E-04 Torr
	0.07 Pa
700 Torr 排氣壓力下的極限
極限	1.6 kW
AUC（有源設(shè)備控制器）	0.05 kW
水入口*	2 slm
氮	0 slm
占地面積（不包括排氣裝置）	0.20 m2
重量	220 kg
進(jìn)氣口連接	ISO100
出口連接	NW25
極限噪音	< 55 dB(A)

* 需要恒流閥附件。

關(guān)鍵詞：干式真空泵真空泵

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愛德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iGX600L 干式泵

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概述

應(yīng)用

iGX600L 干式泵 200-230V 50/60 Hz

A

iGX600L 干式泵 380-460V 50/60 Hz

A

功能和優(yōu)勢

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