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SAMCO二手翻新刻蝕系統(tǒng)刻蝕機(jī)RIE-10NR

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更新時(shí)間：2023-01-09 13:56:33瀏覽次數(shù)：614次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SAMCO二手翻新刻蝕系統(tǒng)刻蝕機(jī)RIE-10NR產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：高度緊湊型設(shè)計(jì)，節(jié)約空間

詳細(xì)介紹

SAMCO二手翻新刻蝕系統(tǒng)刻蝕機(jī)RIE-10NR

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

高度緊湊型設(shè)計(jì)，節(jié)約空間；

均勻度-小于±5%超過(guò)8英寸；

30年的RIE蝕刻器生產(chǎn)工藝經(jīng)驗(yàn)；

具備大型晶圓處理能力，能夠處理8英寸晶圓；

易于操作-電腦化的觸摸屏顯示器；

ASMCO二手翻新刻蝕系統(tǒng)RIE-10NR

設(shè)備硬件配置

1. 可加工尺寸，8 寸 wafer；
2. 真空系統(tǒng)
EBARA 羅茨泵+OSAKA 分子泵
3. RF
AX-300 300W,13.56MHZ
4. 氣體
O2 200SCCM
CF4 200SCCM
AR 100SCCM
SF6 100SCCM
氣體可根據(jù)客戶需求更改
5. VAT 蝶閥
6. MKS 薄膜電容真空計(jì)

7. 配備冷水機(jī)


翻新內(nèi)容

1. 真空泵翻新；
2. MFC 校準(zhǔn)翻新；
3. 腔室 parts 翻新；
4. 真空管路波紋管及密封件更換；

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