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全金屬數字質量流量控制器

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號MODEL DF-550C SERIES

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海市

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更新時間:2023-12-10 17:04:56瀏覽次數:182次

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產品簡介

MODELDF-550CSERIES高性能數字MFC“DF-250C系列"的全金屬型號“DF-550C"發(fā)布!金屬密封結構可以測量和控制半導體工藝氣體和其他腐蝕性氣體

詳細介紹

MODEL DF-550C SERIES

高性能數字MFC“DF-250C系列"的全金屬型號“DF-550C"發(fā)布!
金屬密封結構可以測量和控制半導體工藝氣體和其他腐蝕性氣體。

  • 通過新型螺線管改善響應速度,在所有流量區(qū)域實現1秒以內高速響應
  • 不銹鋼密封使其支持高活性氣體
  • 10SCCM~10SLM序列
  • 可通過2個通信端口進行菊花鏈連接
  • 配備RS-485通訊功能標準
  • 支持RoHS.CE規(guī)格

DF-550C標準規(guī)范

傳感器方式 熱繞組傳感器
閥門方式 比例電磁閥(未通電時關閉)
目標氣體(* 1) N2,Air,H2,He,Ar,O2,CO2等
(未記載的氣體換算成N2進行校正)
流量范圍(* 2) 10 SCCM~10 SLM
控制范圍 2~100%(F.S.)
響應能力 總流量控制范圍 1sec內(wihtin±2%F.S.)
L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa
精度(* 3) ±1.0%F.S.
再現性 ±0.25%F.S.
工作壓差(* 4) 50~350 kPa(F.S.10 SLM:100~350 kPa)
入口壓力 500kPa(G)
耐壓 980kPa(G)
He泄漏率 1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下
溫度 使用溫度 5~50℃
精度保證溫度 15~35℃
允許儲存溫度 -10~60℃
允許環(huán)境濕度 10~90%RH (無結露)
氣體接觸材料 SUS316L,磁性不銹鋼,PTFE,Ni-Co
電氣連接 D-sub 9針KFC Standard(依據SEMI standard),RJ-45模塊化插孔x 2
流量設定信號 0~5 VDC(輸入電阻約1MΩ)
流量輸出信號 0~5 VDC(負載電阻10kΩ以上)
數字通信 使用RS485旋轉開關設置地址:最多99臺(9600 bps)
所需電源(DC) +15 VDC(±5%):150 mA,-15 VDC(±5%):150 mA
接頭 相當于1/4 VCR
安裝姿勢 推薦水平方向
重量(* 9) 約1100g

(* 1)應為干燥氣體,無腐蝕性成分、灰塵、霧氣等的干凈氣體。

(* 2)流量校準單位SCCM和SLM是質量流量在0°C和1個大氣壓狀態(tài)下轉換為體積流量cc / min和L / min的值。

(* 3)對于流量范圍(滿量程)的精度。

(* 4)工作壓差可能因規(guī)格而異。

尺寸圖

接線連接


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