高性能數字MFC“DF-250C系列"的全金屬型號“DF-550C"發(fā)布!
金屬密封結構可以測量和控制半導體工藝氣體和其他腐蝕性氣體。
- 通過新型螺線管改善響應速度,在所有流量區(qū)域實現1秒以內高速響應
- 不銹鋼密封使其支持高活性氣體
- 10SCCM~10SLM序列
- 可通過2個通信端口進行菊花鏈連接
- 配備RS-485通訊功能標準
- 支持RoHS.CE規(guī)格
DF-550C標準規(guī)范
傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
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閥門方式 | 比例電磁閥(未通電時關閉) | |
目標氣體(* 1) | N2,Air,H2,He,Ar,O2,CO2等 (未記載的氣體換算成N2進行校正) | |
流量范圍(* 2) | 10 SCCM~10 SLM | |
控制范圍 | 2~100%(F.S.) | |
響應能力 | 總流量控制范圍 1sec內(wihtin±2%F.S.) | |
L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa | ||
精度(* 3) | ±1.0%F.S. | |
再現性 | ±0.25%F.S. | |
工作壓差(* 4) | 50~350 kPa(F.S.10 SLM:100~350 kPa) | |
入口壓力 | 500kPa(G) | |
耐壓 | 980kPa(G) | |
He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下 | |
溫度 | 使用溫度 | 5~50℃ |
精度保證溫度 | 15~35℃ | |
允許儲存溫度 | -10~60℃ | |
允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH (無結露) | |
氣體接觸材料 | SUS316L,磁性不銹鋼,PTFE,Ni-Co | |
電氣連接 | D-sub 9針KFC Standard(依據SEMI standard),RJ-45模塊化插孔x 2 | |
流量設定信號 | 0~5 VDC(輸入電阻約1MΩ) | |
流量輸出信號 | 0~5 VDC(負載電阻10kΩ以上) | |
數字通信 | 使用RS485旋轉開關設置地址:最多99臺(9600 bps) | |
所需電源(DC) | +15 VDC(±5%):150 mA,-15 VDC(±5%):150 mA | |
接頭 | 相當于1/4 VCR | |
安裝姿勢 | 推薦水平方向 | |
重量(* 9) | 約1100g |
(* 1)應為干燥氣體,無腐蝕性成分、灰塵、霧氣等的干凈氣體。
(* 2)流量校準單位SCCM和SLM是質量流量在0°C和1個大氣壓狀態(tài)下轉換為體積流量cc / min和L / min的值。
(* 3)對于流量范圍(滿量程)的精度。
(* 4)工作壓差可能因規(guī)格而異。