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Semiconsoft薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)MProbe Vis

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產(chǎn)品型號(hào)MProbe Vis

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更新時(shí)間：2024-05-04 09:33:39瀏覽次數(shù)：95次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹MProbeVis薄膜測(cè)量系統(tǒng)是緊湊且多功能的臺(tái)式系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

MProbe Vis薄膜測(cè)量系統(tǒng)是緊湊且多功能的臺(tái)式系統(tǒng)。它可以測(cè)量不同基板上10nm – 150μm厚度范圍的半透明薄膜。而且，它經(jīng)濟(jì)且易于使用。MProbe Vis（X） 的生產(chǎn)版本設(shè)計(jì)用于承受振動(dòng)并使用 LAN 連接 24/7 全天運(yùn)行。它可用于在線和OEM應(yīng)用。它與潔凈室環(huán)境兼容。MProbe20 VisX系統(tǒng)是MProbe20 Vis系統(tǒng)的一個(gè)版本，在更長(zhǎng)的波長(zhǎng)（>700nm）下具有更高的靈敏度。

性能特點(diǎn)
  • 經(jīng)濟(jì)且易于使用
技術(shù)參數(shù)
  • 產(chǎn)地：美國(guó)
  • 波長(zhǎng)范圍（可用）：400-1000nm（典型校準(zhǔn)范圍：380-1050nm）和VisX的450nm -1050nm
  • 波長(zhǎng)分辨率：< 1nm，20μm狹縫（整個(gè)光譜均勻）
  • 厚度范圍 ： 10nm – 150 μm
  • 精度/重復(fù)性：<0.01nm 或 0.02%
  • 精度：<1nm或0.2%
  • 測(cè)量光斑尺寸：< 1mm（標(biāo)準(zhǔn)）
  • 最小數(shù)據(jù)采集時(shí)間：10 μs
  • 光源：5W TH燈，使用壽命10000小時(shí)（可選：20W TH燈，使用壽命2000小時(shí)）
  • 通信接口：USB和1Gb LAN
產(chǎn)品參數(shù)

關(guān)鍵詞：數(shù)據(jù)采集
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