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12英寸高精度程控勻膠機

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產(chǎn)品型號SYSC-300系列

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更新時間：2022-12-22 16:23:20瀏覽次數(shù)：798次

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上海三研科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

SYSC-300系列高精度程控勻膠機（Spin Coater），是*新一代旋轉(zhuǎn)涂膜設備。精密高速伺服電機驅(qū)動，轉(zhuǎn)速達10000rpm，轉(zhuǎn)速精準。*大旋轉(zhuǎn)加速度可達50000rpm/s（有負載的真實加速度）。全自動程序控制。耐腐蝕，304不銹鋼機身，腔體采用NPP材料，旋轉(zhuǎn)臺采用PEEK材料。安全保護功能，真空吸片檢測，腔體關閉檢測。主要用于微電子、半導體、制版、新能源、

詳細介紹

【12英寸】 SYSC-300高精度程控勻膠機 旋涂儀 Spin Coater

一. 產(chǎn)品應用

SYSC-300系列高精度程控旋涂儀（Spin Coater），其*高轉(zhuǎn)速可達10000rpm，*大旋轉(zhuǎn)加速度可達50000rpm/s（有負載條件下的真實加速度）。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、的加速度、主動式速度調(diào)控、勻膠過程多段程序控制等特點?？捎糜谖㈦娮印雽w、光電器件、新能源、生物材料、光學器件等領域的各類高精密納米功能涂層的制備。

二. 產(chǎn)品特點

1. 旋轉(zhuǎn)電機采用專為勻膠機設計的精密高速伺服電機，具有高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性。

2. 優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能，*大旋轉(zhuǎn)加速度可達50000rpm/s（有負載的真實加速度）。

3. 兩項安全互鎖功能：

(1) 勻膠腔體具有開啟、關閉的檢測功能，確保腔體關閉后才可啟動，防止勻膠過程中飛片造成人身傷害；

(2) 真空吸片具有真空檢測功能，若發(fā)生真空泄漏，基片無法吸附牢固，則立即停止運行。

4. 機身外殼采用SUS304不銹鋼制作，防腐蝕、不生銹、易清潔。

5. 勻膠腔體采用德國勞士領NPP材料，經(jīng)CNC一體加工成型。接儲脫離基片的膠液，避免進入真空管路和設備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。

6. 旋轉(zhuǎn)吸片臺采用德國勞士領PEEK材料，經(jīng)CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。

7. 勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程*多可分十段進行，每段的加速時間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)。可儲存50組工藝程序，隨時調(diào)用。

8. 7英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運行狀態(tài)及各項參數(shù)實時顯示，更直觀了解勻膠進程；

9. 真空泵的開啟與關閉均為自動程序控制，無需手動操作。

10. 旋轉(zhuǎn)前增加預吸片步驟，“預吸片時間"*多為99s，確?；喂涛接谛D(zhuǎn)臺后再進行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時間"*多為99s，確保安全停止后再切斷真空，釋放基片，防止涂膜后的基片滑落，對膜層造成損傷。

11. 標配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺，防止飛片。

三. 技術參數(shù)

設備型號技術參數(shù)	SYSC-300A	SYSC-300B	SYSC-300C
可鍍膜基片尺寸	?10～300mm	?10～300mm	?10～300mm
旋轉(zhuǎn)速度	10～6000rpm	10～8000rpm	10～10000rpm
轉(zhuǎn)速分辨率	1rpm	1rpm	1rpm
速度精度性	＜0.02%	＜0.02%	＜0.02%
旋涂加速度*	0～30000rpm/s	0～40000rpm/s	0～50000rpm/s
每段加速時間	999.9s	999.9s	999.9s
每段旋涂時間	9999.9s	9999.9s	9999.9s
時間分辨率	0.1s	0.1s	0.1s
預吸片時間	99s	99s	99s
解吸片時間	99s	99s	99s