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廣州安特激光技術有限公司
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更新時間:2024-05-24 08:36:45瀏覽次數(shù):63次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線產(chǎn)品介紹: 微電子應用激光器(SE-Version):半導體加工,掩模檢查,微光刻和計量激光器,滿足CE標志和SEMIS2標準
產(chǎn)品介紹:
微電子應用激光器(SE-Version): 半導體加工,掩模檢查,微光刻和計量激光器,滿足CE標志和SEMI S2標準。 所有半導體采用全金屬/陶瓷技術,以最小的服務實現(xiàn)最長的激光壽命。比標準的, SE型具有潔凈室封裝,長的腔室壽命和更長的氣體壽命。
產(chǎn)品參數(shù):
參數(shù) | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF |
波長 nm | 157 | 193 | 248 | 308 | 351 |
能量.mJ | 3 | 20 | 35 | 15 | 15 |
能量控制范圍,mJ | 1~3 | 5~20 | 10~35 | 7~15 | 7~15 |
穩(wěn)定能量 200Hz | 2.5 | 15 | 30 | 15 | 12 |
平均功率 W 300/600 | 0.6/1.2 | 4/7 | 6/12 | 3/6 | 3/6 |
穩(wěn)定性標準偏差 | <1% 重復頻率 | ||||
重復率,Hz | 300/600/1000 | ||||
動態(tài)態(tài)氣體壽命 | 2.00E+08 | 2.00E+08 | 5.00E+08 | 1.00E+08 | 3.00E+08 |
靜態(tài)氣體壽命 50%能量 | 15days | 60days | 90days | >1year | 90days |
脈沖長度,ns | 12~15 | ||||
光束尺寸,ns | 5×3 | 8×3 | |||
發(fā)散,mrad全角 | 1×2 | ||||
冷卻方式 | 風冷 | ||||
光學服務 | 5.00E+08 | 3.00E+08 | 1.00E+09 | 1.00E+08 | 3.00E+08 |
注:如需詳細規(guī)格參數(shù)資料,或有其他要求,請聯(lián)系我們。
主要應用:
替代激光器
電離源
微加工
精確標記
屈光手術
拉曼光譜
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