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Amass質(zhì)量流量控制器

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更新時(shí)間：2022-10-29 15:44:55瀏覽次數(shù)：153次

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產(chǎn)品簡介

特點(diǎn)：橡膠/金屬密封應(yīng)用：兼容各種氣體參數(shù)：量程比100:1 精度1%F.S描述：模擬氣體質(zhì)量流量控制器

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品應(yīng)用

真空鍍膜太陽能半導(dǎo)體石油石化
煤炭冶金制氣配氣環(huán)保各種分析儀器

技術(shù)參數(shù)

技術(shù)指標(biāo): Amass質(zhì)量流量控制器Amass質(zhì)量流量計(jì)
量程范圍: 10SCCM-200SLM

測控范圍: 控制器閥控范圍50:1 流量計(jì)量程比100:1
準(zhǔn) 確度: 流量：±1%F.S
重復(fù)精度: ±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間: ≤2S
模擬量: 0～5V
供電: ±15V
工作溫度: 0～50℃
工作壓力: 工作壓差：0.03～0.5MPa 工作壓降：<0.01Mpa
耐壓: 6MPa
電氣連接: DB15孔
漏率: 1×10-9SCCSHe
溫度系數(shù): ±0.015%F.S/℃
底座材質(zhì): 鋁合金或316L不銹鋼
密封材料: 氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠
接頭: VCR1/4;swagelokφ6　以及客戶