產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
    OWT-200平整度測(cè)試系統(tǒng)，采用光學(xué)方法測(cè)量晶圓、藍(lán)寶石、Sic、Si、玻璃等材質(zhì)的表面特征，在無(wú)需任何接觸的情況下測(cè)量厚度、TTV、LTV、彎曲度、平整度等，可在線和離線測(cè)量。
 
產(chǎn)品特點(diǎn)：
 ■厚度、TTV、LTV、翹曲度、彎曲度、平坦度測(cè)量；
 ■無(wú)接觸測(cè)量；
 ■無(wú)需校準(zhǔn)；
 ■高精度、高重復(fù)性；
 ■樣品臺(tái)可選：4寸、6寸、8寸；
 ■強(qiáng)大的分析軟件，可顯示3D表面形貌；
 ■同時(shí)進(jìn)行各種參數(shù)的測(cè)量，具備超高的測(cè)試速度；
 
技術(shù)參數(shù)：
 ■TTV
     ■精確度：±0.1um
     ■重復(fù)性精度：0.01um
 ■厚度
     ■精確度：±0.2um
     ■重復(fù)性精度：0.1um
     ■測(cè)試范圍：50-2000um
 ■翹曲度/彎曲度
     ■精確度：0.5um
     ■重復(fù)性精度：0.2um
     ■測(cè)試范圍：200um
 ■整機(jī)參數(shù)
     ■測(cè)量時(shí)間：<100秒
     ■測(cè)量尺寸：8寸
     ■尺寸：550*602*291mm
     ■整機(jī)功率：800W
 
典型客戶：
藍(lán)寶石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企業(yè)等。