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行業(yè)產(chǎn)品

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芯片、光伏、顯示屏廠保溫管道電加熱夾套

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參   考   價(jià): 1000

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)VC-DJR-156

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地長(zhǎng)沙市

聯(lián)系方式:胡經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2024-06-05 11:40:40瀏覽次數(shù):139次

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經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:223條

所在地區(qū):四川成都市

聯(lián)系人:胡經(jīng)理 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

芯片、光伏、顯示屏廠保溫管道電加熱夾套:DIFF、ETCH、CVD、EPI部門,Pumping line和Pump exhaust管路需加裝加熱夾套。

詳細(xì)介紹

 

芯片、光伏、顯示屏廠保溫管道電加熱夾套的前因:

由于半導(dǎo)體生產(chǎn)常常需要使用各種化學(xué)氣體,這些氣體也會(huì)隨著工藝的過(guò)程,由真空泵從反應(yīng)腔體抽出,形成各種有毒有害的工藝尾氣,這些氣體如直接排到大氣中就會(huì)形成大氣污染。所以半導(dǎo)體生產(chǎn)廠家都需要對(duì)工藝設(shè)備尾氣進(jìn)行有效的處理,以減少對(duì)環(huán)境的污染。因此,在半導(dǎo)體制造機(jī)臺(tái)中,尾氣處理裝置是半導(dǎo)體加工中的BB工具。在等離子體干法刻蝕過(guò)程中,氣體供給口提供的氣體主要由Cl2、CF4、SF6、O2、He、BCl3等,經(jīng)過(guò)在真空反應(yīng)室內(nèi)的一系列反應(yīng)后,氣體排出口排出的尾氣主要包括TiClx、AlClx、MoClx、MoFx、SiO2。由于上述尾氣極易在室溫下結(jié)晶,因此尾氣處理過(guò)程中結(jié)晶體會(huì)附著在排氣管的管壁上,極易對(duì)排氣管進(jìn)行堵塞,同時(shí)造成排氣管的損傷。此過(guò)程會(huì)造成尾氣處理不CD,同時(shí)提高生產(chǎn)成本。

需要加熱馬甲的部門:

DIFFETCHCVD、EPI部門,Pumping linePump exhaust管路需加裝加熱夾套。

加熱馬甲作用:

通過(guò)升高管路工作溫度,減少管內(nèi)介質(zhì)結(jié)晶,避免管路堵塞,減少PM周期,提高產(chǎn)能。

加熱馬甲溫度要求:

PVD150°、170°(也有180°)

ETCH80°-120°

芯片、光伏、顯示屏廠保溫管道電加熱夾套

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形結(jié)構(gòu)制作,包括法蘭,閥門,管路,泵體等,限度的減少暴露點(diǎn),維持可靠安全的溫度環(huán)境,防止沉積。    

芯片、光伏、顯示屏廠保溫管道電加熱夾套整體為柔性耐腐蝕材質(zhì)制作,不燃、可在潔凈環(huán)境下使用,保溫隔熱層有效的組織了熱量的散失,功率密度分布均勻的加熱層和內(nèi)置溫度傳感器及溫度保險(xiǎn)裝置保證了加熱溫度的均勻性和可靠性。根據(jù)被加熱體的機(jī)

構(gòu)變化,由多個(gè)加熱套組成一個(gè)加熱系統(tǒng),整體對(duì)被加熱體進(jìn)行加熱保溫,系統(tǒng)內(nèi)的個(gè)體加熱套可以分別拆卸反復(fù)使用,大大降低了使用和維護(hù)成本,個(gè)體加熱套之前通過(guò)專用插頭連接,組成了一個(gè)高效的保溫加熱系統(tǒng)。

根據(jù)使用要求有多種方式可對(duì)加熱系統(tǒng)進(jìn)行溫度控制和安全監(jiān)護(hù),加熱系統(tǒng)中每一個(gè)個(gè)體加熱套可獨(dú)立外掛溫控模塊進(jìn)行控溫。

 

 

 

 

 

 

 

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