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1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣CVD系統(tǒng)

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更新時(shí)間：2024-09-28 11:06:19瀏覽次數(shù)：63次

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長(zhǎng)沙沛鈺進(jìn)出口貿(mào)易有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷商

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所在地區(qū)：湖南長(zhǎng)沙市

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

型號(hào)：OTF-1200X-4-C4LVS產(chǎn)品概述：OTF-1200X-4-C4LVS雙管爐是一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究

詳細(xì)介紹

型號(hào)：OTF -1200X-4- C4LVS

產(chǎn)品概述：OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究。通過(guò)滑動(dòng)爐子實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。請(qǐng)點(diǎn)擊下圖觀看爐子的工作原理。

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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情

名稱

1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣CVD系統(tǒng)

視頻

2.1.png

操作視頻

儀表操作視頻

爐體結(jié)構(gòu)

· 高純 Al2O3保溫材料，保證了爐膛有的溫度均勻性.

· 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命/

· 爐子底部的冷卻風(fēng)扇保證了熱量正常對(duì)外釋放.

密封法蘭系統(tǒng)全不銹鋼制作。

電源

電源:208-240VAC, 50/60Hz, 單相, 2.5KW ( 20A 保險(xiǎn)絲)

加熱溫度

溫度: 1100°C
連續(xù)溫度: 1000°C

加熱區(qū)

加熱區(qū)長(zhǎng)度: 440mm

加熱和冷卻速度

的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關(guān)，請(qǐng)點(diǎn)擊下圖可以看出的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化。
( 在使用爐子之前，要校準(zhǔn)工作溫度和加熱、冷卻速度 )

石英管

外管: OD100 x ID 96 x 1400, mm
內(nèi)管: OD80 x ID 75 x 1800 mm

真空法蘭

· 一對(duì) SS304不銹鋼法蘭，通過(guò)用兩個(gè)高溫“O"型圈緊密密封可獲得高真空。

· 爐子底部裝有一對(duì)滑軌

· 爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻。

· 為了得到較快的加熱速度，可以先將爐子預(yù)熱，然后滑到放置樣品的位置。

· 為了獲得較快的冷卻的速度，把爐子滑向另一端，同時(shí)將冷卻氣體通入樣品所在的位置。

OTF-1200X-4-C4-SL-UL 1.jpg OTF-1200X-4-C4-SL-UL 2.jpg OTF-1200X-4-C4-SL-UL 3.jpg OTF-1200X-4-C4-SL-UL 4.jpg

左法蘭（點(diǎn)擊查看大圖）右法蘭（點(diǎn)擊查看大圖）

· 極限真空度: 10^-2 torr (機(jī)械泵)
10^-5 torr (分子泵)

· 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）

溫控儀

· 溫控儀:帶超溫保護(hù)和PID調(diào)節(jié)的 30 段程序控制。

· 控溫儀表操作視頻

控溫精度: +/-1°C

混氣系統(tǒng)

4路精密質(zhì)子流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制.

· MFC 1范圍: 0~100 sccm

· MFC 2范圍: 0~200 sccm

· MFC 3范圍: 0~200 sccm

· MFC 4范圍: 0~500 sccm

· 氣路: 4 路

· 流量精度: 0.2%

· 進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套

· 一個(gè)混氣罐.

· 每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。

· 通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量. 請(qǐng)看下圖

MFC 面板(點(diǎn)擊放大)

真空泵

· 安裝在移動(dòng)架底部的機(jī)械泵，真空度達(dá) 10-3 Torr.

· 真空泵與手動(dòng)擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接 .

· 數(shù)字真空表安裝在一端的法蘭上.

選擇: 可以配分子泵，真空度達(dá) 10-5 Torr

作為基片用的25um厚的銅箔 (選配）

生長(zhǎng)石墨烯的銅箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)

尺寸（mm)

爐體: 550 x 380 x 520
移動(dòng)架: 600x600x597

凈重

300 lb

保修期

一年質(zhì)保期 (耗材：如爐管，“O"型圈，和加熱元件等不在保修范圍內(nèi)）

認(rèn)證

CE 認(rèn)證

使用注意事項(xiàng)

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

· 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

· 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)

· 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

· 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃

對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）